[实用新型]真空镀膜机油扩散泵冷井

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机油扩散泵冷井。

背景技术

真空镀膜机的油扩散泵的的主要结构是由泵壳、泵芯、硅油、电炉组成。其原理是利用电炉在泵的底部加热至270℃使硅油沸腾，产生油蒸汽而向上喷射。经一、二、三极喷嘴喷出形成高速的喷射油膜。此时利用空气动力学的原理将空气分子吸附在油膜表面经三极压缩后由机械真空泵抽出。

目前油扩散泵系统的冷井采用直桶形加直线形档油板结构。这样会造成油扩散泵内油气分子不能全部被冷井挡住，从而污染真空室内的工件表面造成膜层不牢固。直桶形冷井和直线形挡油板不能做到完全光密封，从而很容易造成油气分子不能完全捕集而泄漏至真空室内的工件表面。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空镀膜机油扩散泵冷井，油气分子不易通过，挡油效率高。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：真空镀膜机油扩散泵冷井，包括制冷管、冷井座和挡板，所述冷井座固定于真空室与真空泵之间，所述制冷管在所述冷井座内成螺旋状环绕设置，所述挡板沿所述制冷管倾斜设置。

作为优选，所述冷井座的内壁设有一圈凹槽，所述挡板的最大边缘落入所述凹槽内，以实现完全光密封。

作为优选，所述挡板的中部焊接于所述制冷管上，以便更快地获得低温。

作为优选，所述挡板包括一块上挡板和一块下挡板，所述上挡板和所述下挡板的倾斜方向相反。

本实用新型由于采用了上述技术方案，制冷管在冷井座内成螺旋状环绕设置，挡板沿制冷管倾斜设置，即将挡板改为螺旋形设置，并且与制冷管平行焊接，使得油气分子不易通过该冷井，挡油效率高。

附图说明

图1为本实用新型真空镀膜机油扩散泵冷井的结构示意图

图2为带有该装置的真空镀膜机的结构示意图

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。

图1所示为本实用新型真空镀膜机油扩散泵冷井，包括制冷管1、冷井座3和挡板2，如图2所示，所述冷井座3固定于真空室4与真空泵5之间，所述制冷管1在所述冷井座3内成螺旋状环绕设置，所述挡板2沿所述制冷管1倾斜设置。所述冷井座3的内壁设有一圈凹槽31，所述挡板2的最大边缘落入所述凹槽31内。所述挡板2的中部焊接于所述制冷管1上。所述挡板2包括一块上挡板21和一块下挡板22，所述上挡板21和所述下挡板22的倾斜方向相反。

本实用新型真空镀膜机油扩散泵冷井把原先的直线形挡油板改成螺旋形档油板，从而达到光密封100％的效果；还有，原先的冷井内的冷却管与挡板都是交叉焊接的，现在改为平行焊接，使得该冷井需配置的氟利昂制冷机的功率降低至原来的三分之一，这符合国家绿色环保政策。

使用时，在制冷管1内通以-30℃的冷媒，焊接于制冷管1上的挡板2也降至相应温度，利用超低温的温差对流原理以及充分的光密封将来自于油扩散泵系统的油气分子、水分子充分吸附在挡板表面。