[实用新型]镀膜机真空室内气体捕集器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜机真空室内的气体捕集器。

背景技术

真空镀膜机的油扩散泵的主要结构是由泵壳、泵芯、硅油、电炉组成。其原理是利用电炉在泵的底部加热至270℃使硅油沸腾，产生油蒸汽而向上喷射。经一、二、三级喷嘴喷出形成高速的喷射油膜。此时利用空气动力学的原理将空气分子吸附在油膜表面经三级压缩后由机械真空泵抽出。

在真空镀膜机真空室的整个抽气过程中，不可避免地会产生油气分子的挥发，如果对有害气体以及超微量的剩余气体不能百分百的捕捉，有害气体以及超微量的剩余气体挥发至真空室内的工件表面，将直接影响镀膜的质量和附着力。

原有气体捕集器是采用铜管绕制若干圈后，放置于真空室的下面，而未放在抽气口的中间。这样就会影响到油扩散泵内的油气分子会直接发散至工件的表面，从而影响到全膜的牢固度。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种镀膜机真空室内气体捕集器，高效吸附真空室内的水汽分子以提高抽速和真空度。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：镀膜机真空室内气体捕集器，包括制冷管、框架和若干块挡板，所述框架竖直固定于真空室与真空泵之间的真空室抽气口位置，所述制冷管包括间隔设置的直管段和弯管段，一段直管段上倾斜固定有一块挡板。

作为优选，相邻挡板的水平投影具有一个重叠区，以实现光密封。

作为优选，所述挡板的中部焊接于所述直管段上，以便更快地获得低温。

作为优选，所述挡板朝向所述真空泵倾斜。

本实用新型由于采用了上述技术方案，利用超低温的温差对流原理以及充分的光密封将油气分子、水分子充分吸附在挡板表面，从而使工件的金膜质量和附着力得到提高。大幅度提高抽速和真空度，因为抽速的提高从而缩短了生产时间，减少了电耗。

附图说明

图1为本实用新型镀膜机真空室内气体捕集器的正视图

图2为本实用新型镀膜机真空室内气体捕集器的侧视图

图3为带有该装置的真空镀膜机的结构示意图

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。

图1和图2所示为本实用新型镀膜机真空室内气体捕集器，包括制冷管1、框架3和若干块挡板2，如图3所示，所述框架3竖直固定于真空室4与真空泵5之间的真空室抽气口位置，所述制冷管1包括间隔设置的直管段11和弯管段12，一段直管段11上倾斜固定有一块挡板2。相邻挡板2的水平投影具有一个重叠区21。所述挡板2的中部焊接于所述直管段11上。所述挡板2朝向所述真空泵5倾斜。

如图3所示，使用时，真空室4内的空气分子经油扩散泵6的三级压缩后由真空泵5抽出。在真空室4内设置本实用新型镀膜机真空室内气体捕集器后，在该气体捕集器的制冷管1内通以-120℃的冷媒，焊接于制冷管1上的挡板2也降至相应温度，利用超低温的温差对流原理以及充分的光密封将油气分子、水分子充分吸附在挡板表面，从而保证真空镀膜过程中伞架7上工件的镀膜质量。

本实用新型镀膜机真空室内气体捕集器将多圈绕制的超低温蒸发器改成百叶窗形式的气体捕集器，并将其放置于真空室的主抽气口内，大幅度减少了有害气体量，大幅度提高了抽速和真空度，在冷抽状态下仅30分钟真空可达到2.0x10^-4mbar。