[实用新型]板框硅片保护结构

权利要求书

1.一种板框硅片保护结构，包括用于放置硅片的板框，其特征在于，还包括至少两盖板，所述盖板与板框通过设置在板框相对两侧边上的滑轨滑动连接；所述滑轨包括上下对齐且平行排列的上轨道及下轨道，其中一盖板与所述上轨道滑动连接；另一盖板与所述下轨道滑动连接。

2.根据权利要求1所述的板框硅片保护结构，其特征在于，所述上轨道及下轨道的横截面均为里侧开有凹槽的半工字型；所述盖板嵌套于相应轨道的凹槽内。

3.根据权利要求1所述的板框硅片保护结构，其特征在于，所述滑轨通过螺栓固定在所述板框上。

4.根据权利要求1所述的板框硅片保护结构，其特征在于，所述上轨道及下轨道上均设置至少两个用于防止盖板掉落的卡板。

5.根据权利要求4所述的板框硅片保护结构，其特征在于，所述卡板设置在所述上轨道及下轨道的两端。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的板框硅片保护结构，其特征在于，还包括第三盖板，所述两盖板中一盖板为中间盖板，与所述上轨道滑动连接；所述两盖板中另一盖板与所述第三盖板作为侧盖板与所述下轨道滑动连接。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的板框硅片保护结构，其特征在于，还包括第三盖板，所述两盖板中一盖板与所述第三盖板作为侧盖板，与所述上轨道滑动连接；所述两盖板中另一盖板为中间盖板，与所述下轨道滑动连接。