[实用新型]适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置

权利要求书

1.适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置，包括电子枪、电源和电源控制模块；所述电子枪包括分别套装在绝缘筒内且轴线重合并依次固定连接的热阴极、调制极、加速极；所述电源包括灯丝电源、调制电源、加速电源；所述电源控制模块包括可编程控制器；其特征在于：所述电子枪还包括分别套装在绝缘筒内并与加速极依次连接的一次聚焦腔和二次聚焦腔；所述电源还包括一次聚焦电源和二次聚焦电源；灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源分别与对应的热阴极、调制极、加速极、一次聚焦腔和二次聚焦腔连接；所述电源控制模块还包括数字量模拟量转换模块，可编程控制器通过数字量模拟量转换模块与灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源连接。

2.根据权利要求1所述的适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置，其特征在于：所述一次聚焦腔包括依次连接的一次前聚焦极和一次后聚焦极；一次前聚焦极和一次后聚集极均开有小孔，小孔轴线与电子枪电子入射方向重合。

3.根据权利要求2所述的适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置，其特征在于：所述一次前聚焦极小孔孔径为4 cm～5 cm，一次后聚焦极小孔孔径为2 cm～3 cm。

4.根据权利要求3所述的适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置，其特征在于：所述二次聚焦腔包括依次连接的二次前聚焦极、二次中聚焦极和二次后聚焦极；二次前聚焦极、二次中聚焦极、二次后聚焦极均开有小孔，并且小孔轴线与电子枪电子入射方向重合。

5.根据权利要求4所述的适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置，其特征在于：所述二次前聚焦极小孔孔径为2.5 cm～3.5 cm，二次中聚焦极小孔孔径为2 cm～3 cm，二次后聚焦极小孔孔径为1.5 cm～2.5 cm。

6.根据权利要求5所述的适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置，其特征在于：所述热阴极包括灯丝及罩在灯丝外面的小金属圆筒，所述小金属圆筒外表面涂覆有一层六硼化镧。