[实用新型]一种晶片烘干机

说明书

技术领域

本实用新型涉及干燥晶片技术领域，特别涉及一种晶片烘干机。

背景技术

在晶片生产过程中，研磨工序处于前工序。晶片经过研磨和清洗后表面需要快速干燥。干燥的方式常见的有气流干燥、喷雾干燥、旋转干燥、红外干燥、微波干燥等。对于干燥技术，有三项目标是学者公认的，即干燥操作要保证产品质量；干燥作业对环境不造成污染；干燥的节能目的。

第一种现有生产技术使晶片干燥的方法通常采用电动吹风筒对研磨后的晶片进行人工干燥操作，其存在的缺点是：(1)人员操作时需要一边手持产品，一边手持电动吹风筒，操作起来很不方便，生产效率低；(2)人工手持电动吹风筒存在安全隐患，人身安全得不到保障；(3)人工操作具有随机性，容易造成晶片表面干燥区域不全面，易留有水印，干燥效率低下，并对晶片产品质量造成一定影响。

第二种现有生产技术使晶片干燥的方法通常采用SRD甩干机对研磨后的晶片进行干燥操作，其存在缺点是：(1)SRD甩干机比较昂贵，加大了生产设备成本；(2)SRD甩干机在干燥的过程中需要使用去离子水，使得加工成本过高；(3)应用SRD甩干机对晶片干燥需要10分钟左右的时间，使得干燥晶片的生产效率低，并且存在破碎晶片的危险。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种烘干机，以克服现有干燥晶片存在的操作不方便易发生安全和质量隐患、干燥效率低下、并且加工成本过高等缺陷。

(二)技术方案

为了解决上述问题，本实用新型提供一种晶片烘干机，包括箱体，所述箱体内具有箱体内腔，被干燥晶片位于箱体内腔中，

所述箱体内腔内壁上设有至少一个吹风口，所述吹风口与产生热风源的风机连通，所述吹风口的对面设有排风口。

进一步地，所述箱体内腔具有晶片盒，所述装有晶片的支架位于晶片盒内，所述晶片盒包括夹持晶片支架的夹具。

进一步地，所述箱体内腔内壁上相对倾斜设有两个挡风壁，所述挡风壁的上方开口大于下方开口，所述晶片盒位于挡风壁中。

进一步地，所述箱体上设有透明视窗。

进一步地，所述吹风口位于箱体内腔的上方，所述排风口位于箱体内腔的下方。

进一步地，所述吹风口与风机之间设有热风管道，所述热风管道中具有若干个发热管。

进一步地，所述箱体内设有报警装置和温控计。

进一步地，所述箱体四周内壁采用玻璃纤维或石棉板保温。

进一步地，所述风机前安装空气过滤网。

进一步地，所述箱体内腔内壁上设有多个吹风口，所述相邻吹风口之间设有挡风板。

(三)有益效果

本实用新型提供的晶片烘干机，结构简单，可实现有效、快速地烘干晶片，干燥效果好，并最大程度地节省加工成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例晶片烘干机结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1所示，本实用新型提供的晶片烘干机，包括：箱体1，该箱体1为封闭箱体，其四周的内壁采用玻璃纤维石棉板进行保温。该封闭箱封闭体内设有箱体内腔2，待烘干晶片位于箱体内腔2中。该箱体1上设有透明视窗(图未示)，该透明视窗由PC(Polycarbonate，聚碳酸酯)材料制成。

该晶片在进行烘干作业前，可先对晶片进行酒精处理，使晶片上残留的酒精溶液在热风冲击下，快速挥发，加快烘干效率。

该箱体内腔2内壁上设有至少一个吹风口21，本实施例中吹风口的数量采用两个，该两个吹风口之间设有挡风板22。该吹风口21与产生热风源的风机3连通，吹风口21与风机3之间设有热风管道6，热风管道6中具有若干个发热管7，发热管对吹向晶片的风提供热量。风机3前安装空气过滤网，确保通过吹风口21吹向晶片表面的热风是纯净的。

本实用新型中吹风口21数量的设置，可根据实际需要而定。

其中，箱体内腔2中在吹风口21的对面设有排风口4。吹过晶片的热风通过排风口4排出。较优地，将吹风口21位于箱体内腔2的上方，将排风口4设置于箱体内腔2的下方，这样便于吹风口21吹向晶片热风自上而下通过排风口4排散出去，加快晶片的烘干速度。

箱体内腔2具有晶片盒5，装有晶片的支架位于晶片盒5内，晶片盒5包括夹持晶片支架的夹具51，通过夹具51可固定不同尺寸的晶片支架，确保可烘干不同尺寸的晶片。