[实用新型]紫外激光打孔的装置有效
| 申请号： | 201120158369.7 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN202123320U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;汪昊 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/42;B23K101/42 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 打孔 装置 | ||
【权利要求书】：
1.紫外激光打孔的装置，包括激光器和扩束镜，其特征在于：所述激光器为紫外调Q固体激光器，紫外调Q固体激光器的输出端设置扩束镜，所述扩束镜的输出端布置有第一反射镜，第一反射镜衔接第二反射镜，第二反射镜的输出端布置有光束整形器，光束整形器的输出端布置有扫描振镜，所述扫描振镜的输出端连接有聚焦镜，聚焦镜的下方布置有三维移动平台；所述紫外调Q固体激光器发出的光束射入扩束镜，扩束镜输出准直的光束，准直的光束经第一反射镜和第二反射镜后进入光束整形器，光束整形器将激光焦点处能量分布为高斯分布的光斑转换为能量分布为平顶分布的光斑，平顶光束经扫描振镜后进入聚焦镜，聚焦后的光束焦点位于三维移动平台的加工工件上。
2.根据权利要求1所述的紫外激光打孔的装置，其特征在于：所述紫外调Q固体激光器为输出波长是355nm的紫外调Q固体激光器。
3.根据权利要求1所述的紫外激光打孔的装置，其特征在于：所述三维移动平台上安装有吸气装置和高分辨率辅助定位影像系统。
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