[实用新型]一种多晶硅提纯铸锭炉升降机构无效
申请号: | 201120159565.6 | 申请日: | 2011-05-19 |
公开(公告)号: | CN202090102U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 李荣华 | 申请(专利权)人: | 吴江亿泰光伏设备有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 提纯 铸锭 升降 机构 | ||
1.一种多晶硅提纯铸锭炉升降机构,其特征在于,其包括坩埚升降机构、换热门升降机构、炉盖升降机构三个部分,所述炉盖升降机构放置在上炉体支架上,所述坩埚升降机构和换热门升降机构安装在下炉体上。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅提纯铸锭炉升降机构,其特征在于,所述坩埚的升降是依靠下部四柱升降台的中心轴运动来实现升降的,所述中心轴的运动是靠升降台的运行平板来推动的,所述运行平板的运行是由伺服电机、减速机和丝杆和直线导轨来实现对运行平板的运行。
3.根据全力要求1或2所述的一种多晶硅提纯铸锭炉升降机构,其特征在于,所述换热门的升降是通过三根三角形直线方向的轴,由直线轴承定位来实现上下运动,所述三根直线轴通过升降台的运行平板来实现推动和固定,运行板的运行是由伺服电机、减速机、丝杆和直线导轨来实现对运行平板的运行。
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