[实用新型]太阳能电池硅片扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能硅片制造设备，尤其是一种太阳能电池硅片扩散炉。

背景技术

目前使用的太阳能电池硅片扩散炉，扩散气体进入炉体后垂直于硅片表面流动，难以在硅片背面及硅片间隙内均匀分布，造成硅片表面方块电阻均匀性较差，中部方阻偏大，四周偏小。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种有效改善硅片表面方块电阻均匀性的太阳能电池硅片扩散炉。

实现本实用新型目的的太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体、设置在所述炉体内的石英舟、用于使扩散气体进入所述炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管；所述进气管位于所述石英舟的上方，设有多个进气孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，设有多个排放孔，所述石英舟底面设有多个流通孔，以便进气管进入的扩散气体通过流通孔从排放孔排出，使得扩散气体沿着平行于硅片表面的方向流动，从而有效地改善了硅片表面方块电阻的均匀性。

所述流通孔为密集分布的多个小圆孔。

所述流通孔为垂直与硅片分布的多个长条孔。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的太阳能电池硅片扩散炉，由于在石英舟底面设有多个流通孔，保证扩散气体沿着平行于硅片表面的方向流动，从而有效地改善了硅片表面方块电阻的均匀性。

附图说明

图1为本实用新型太阳能电池硅片扩散炉的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的实施例如下：

如图1所示，本实用新型的太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体1、设置在所述炉体1内的石英舟2、用于使扩散气体进入所述炉体1内的进气管4和扩散处理后排放尾气的排放管5；所述进气管4位于所述石英舟2的上方，设有多个进气孔41；所述排放管5位于所述石英舟2的下方，设有多个排放孔51，所述石英舟2底面设有多个流通孔21，以便进气管4进入的扩散气体通过流通孔21从排放孔排出，使得扩散气体沿着平行于硅片3表面的方向流动，从而有效地改善了硅片3表面方块电阻的均匀性。

所述流通孔21可以为密集分布的多个小圆孔，也可以是垂直与硅片3分布的多个长条孔。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神前提下，本领域普通工程技术人员对本实用新型技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。