[实用新型]一种多晶制绒设备中的防压篮装置有效

专利信息
申请号: 201120159867.3 申请日: 2011-05-18
公开(公告)号: CN202124673U 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 严俊;李敏 申请(专利权)人: 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司
主分类号: C30B33/08 分类号: C30B33/08
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人: 宋缨;张文军
地址: 201108 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 设备 中的 防压篮 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及多晶制绒技术领域,特别是涉及一种多晶制绒设备中的防压篮装置。

背景技术

太阳能电池片槽式制绒设备中,多采用机械臂来传送硅片花篮,常用花篮容量为200片/盒。该类设备由于采用槽式结构,硅片花篮需要在槽体内静置一段时间后才会传送到下一个槽体。当某个槽体内已经存在花篮,若此时机械臂仍将下一花篮传送至该槽时,会导致花篮重叠,即压篮。若发生压篮现象,轻则两个花篮内的硅片报废,重则导致机械臂机构出现故障,影响生产。目前该类设备大多采用在槽体内安装检测传感器的方案来防止压篮现象的发生,这种方案需要在槽体内安装较多的检测传感器,从而使成本上升。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多晶制绒设备中的防压篮装置,能检测并预防压篮,并有效降低发生压篮时的影响。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种多晶制绒设备中的防压篮装置,包括两根机械臂和工艺槽体,所述的两根机械臂悬置在所述的工艺槽体的上方,所述的两根机械臂中的一根机械臂上设有花篮检测传感器。

所述的两根机械臂中未装有花篮检测传感器的机械臂上设有压篮检测传感器;所述的压篮检测传感器下方设有导杆;所述的导杆能沿着设有所述的压篮检测传感器的机械臂滑动。

所述的导杆上部设有挡板。

有益效果

由于采用了上述的技术方案,本实用新型与现有技术相比,具有以下的优点和积极效果:本实用新型采用双重检测方案,可以有效避免事故发生;本实用新型由于将传感器安装在机械臂上,传感器的数量远低于槽内安装传感器的方案,所需成本也大大降低。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是图1中A的局部放大图。

具体实施方式

下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

本实用新型的实施方式涉及一种多晶制绒设备中的防压篮装置,如图1所示,包括两根机械臂1和工艺槽体2,所述的两根机械臂1悬置在所述的工艺槽体2的上方,所述的两根机械臂1中的一根上设有花篮检测传感器3,在图1中,花篮检测传感器3安装在右侧的机械臂上。所述的两根机械臂1中未安装花篮检测传感器3的一根机械臂上设有压篮检测传感器4,即在左侧的机械臂上安装压篮检测传感器4。所述的压篮检测传感器4下方设有导杆5(见图2),所述的导杆5能沿着装有压篮检测传感器4的机械臂1滑动。所述的导杆5上部设有挡板。其中,机械臂1用于提取并搬送花篮6;花篮检测传感器2用于检测工艺槽体内有2无花篮;工艺槽体2用于工艺所需化学药液的盛放;花篮6用于装载硅片;压篮检测传感器4用于判断是否发生压篮现象;导杆5用于转换压篮信号,当发生压篮现象时,导杆5会被花篮6上顶,导杆5上部的挡板会触发压篮检测传感器4,从而可判断发生了压篮现象。

工作原理:机械臂提取花篮横向运动到槽体上方时,花篮检测传感器将检测工艺槽体内有无花篮,当检测发现有花篮时,机械臂不会下降;当检测发现无花篮时,机械臂下降并将花篮放置在工艺槽体内。当花篮传感器工作异常或没有设置时,则采用压篮检测传感器来判断并控制机械臂工作。当工艺槽体内已经有花篮,而此时机械臂搬送的花篮将放置在该花篮之上,机械臂由于行程未到,仍将继续下行,导杆会被花篮上顶,导杆上部挡板触发压篮检测传感器,系统检测到压篮检测传感器的信号时将强制停止机械臂的下行运动,从而可避免压篮现象可导致的硅片破裂,甚至机械臂损坏的事故。

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