[实用新型]液态源的汽化补液装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种汽化补液装置，尤其涉及一种液态源的汽化补液装置。 

背景技术

液态源和特种气体一样，是电子行业的重要原料。液态源常温下蒸汽压很低，以液态存在。但必须转化为气态，才能参与工艺反应。如光纤预制棒的制造工艺需要用到SiCl4、GeCl4、POCl3等液态源。用于芯层和包层的沉积工艺。硅基太阳能电池生产中用到的POCl3，需要经过氮气携带进入扩散炉，生成PN结。薄膜太阳能电池成产用到的DEZn，蒸发后参与反应，生成TCO玻璃。半导体芯片制造用到的TEOS，经过蒸发进入反应腔，生成SiO2绝缘层。芯片制造中用到的TCS，汽化后用于制造硅外延片。 

工艺中化学品输送需要使用的输送设备是整个工业系统的关键，而汽化装置又是整个输送设备的核心部分。对于光纤行业，汽化装置将直接影响到预制棒的光学性能，决定了整个系统能否生产出合格预制棒。 

传统汽化装置一般分为两种，一种不使用补液装置，通常在用尽汽化容器中的液体时更换新的汽化容器，以保证正常需求。这种方法属于间歇式的供应。在容器更换期间严重影响系统的正常运行，使工艺稳定性下降，同时大多数液态源具有强烈的毒性、腐蚀性，更换容器中很容易使系统出现泄漏，为环境、人身保护造成隐患；另一种属于连续式输送，即靠近容器底部、在汽化容器侧面开孔，插入补液管。这种方式虽然可以实现连续供应，但补入液体对容器内蒸汽压和温度分布影响较大，同样影响工艺的稳定性。由上可知，传统汽化装置的补液方式无法保证系统的稳定性和安全性，因此，有必要对现有的液态源的汽化补液装置进行改进。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种液态源的汽化补液装置，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。 

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器，所述补液容器中设有内部加热棒，所述内部加热棒的加热区靠近补液容器的底部，其中，所述补液容器内设有液位计，所述补液容器的底部开孔设有补液管路，所述补液管路和控制阀门相连。 

上述的液态源的汽化补液装置，其中，所述液位计为浮球液位计。 

上述的液态源的汽化补液装置，其中，所述液态源为液化气体SiCl4、GeCl4、POCl3、DEZn、TEOS或TCS。 

上述的液态源的汽化补液装置，其中，所述补液管路所用部件为经过电解抛光的SS316L不锈钢材料。 

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，通过在补液容器的底部设置补液管路，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。 

附图说明

图1为本实用新型液态源的汽化补液装置结构示意图。 

图中：

1 补液容器            2 液位计              3 补液管路

4 内部加热棒          5 控制阀门

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。 

图1为本实用新型液态源的汽化补液装置结构示意图。 

请参见图1，本实用新型提供的液态源的汽化补液装置包括盛放液态源的补液容器1，所述补液容器1中设有内部加热棒4，所述内部加热棒4的有效加热区靠近补液容器1的底部，其中，所述补液容器1内设有液位计2，所述补液容器1的底部开孔设有补液管路3，所述补液管路3和控制阀门5相连。