[实用新型]一种陶瓷坩埚组件及其接板装置

权利要求书

1.一种接板装置，连接在陶瓷坩埚的顶部开口端，其特征在于，包括：

基板框架(11)，所述基板框架(11)包括多个侧板，所述侧板围成与所述陶瓷坩埚的开口端连通的通孔；

连接部(12)，所述连接部(12)设置在所述基板框架(11)的底部，且与所述陶瓷坩埚的顶部开口端连接。

2.如权利要求1所述的接板装置，其特征在于，所述连接部(12)为连接在所述基板框架(11)底部周围的插板，所述插板与所述基板框架(11)的侧壁之间形成有插设在所述陶瓷坩埚顶部侧壁的插槽。

3.如权利要求2所述的接板装置，其特征在于，所述插板(12)包括插槽壁板(122)和设置于该插槽壁板(122)顶部的顶部挡板(121)，所述插板(12)通过所述顶部挡板(121)与所述基板框架(11)的侧壁相连，所述插槽壁板(122)和所述基板框架(11)的侧壁构成所述插槽的侧壁，所述顶部挡板(121)为所述插槽的底部。

4.如权利要求2所述的接板装置，其特征在于，所述插板外伸于所述基板框架(11)的底部端面。

5.如权利要求2所述的接板装置，其特征在于，所述插板上间隔开设有若干槽。

6.如权利要求5所述的接板装置，其特征在于，所述基板框架(11)的侧壁底部开设有若干槽。

7.如权利要求1所述的接板装置，其特征在于，所述基板框架(11)的各个侧壁上均设有加强筋(13)。

8.如权利要求1-7任一项所述的接板装置，其特征在于，所述基板框架(11)为钼板框架。

9.一种陶瓷坩埚组件，包括陶瓷坩埚，其特征在于，还包括设置于所述陶瓷坩埚顶部开口端上的如权利要求1-8任一项所述的接板装置。