[实用新型]多功能喷砂造型机

说明书

技术领域

本实用新型特别涉及一种用于半导体生产工艺中完成磨角环节的多功能喷砂造型机。

背景技术

在半导体生产工艺中，传统的半导体芯片手工磨角工艺，是在磨盘电动旋转的基础上，人工将芯片按压在磨盘上滑动磨角，同时手动填砂，时间、力度、角度、填砂量都需要工人凭经验决定，因此对工人的能力有很高要求；同时手工磨角工作效率低，成品率低，对成品芯片的质量也有一定影响。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种工作效率高，成品率高，加工质量好，对工人能力要求较低的多功能喷砂造型机。

本实用新型涉及的多功能喷砂造型机包括一个机座，其特殊之处是：在机座上设有挡砂箱和位于挡砂箱内可旋转的主轴，在主轴上端插装有芯片夹盘，在机座内设有驱动主轴旋转的动力装置，在机座上方设有一个横向和纵向位置可调的支撑梁，支撑梁一端插入挡砂箱内且在该端固定有角度可调的喷砂嘴；在机座上还设有喷砂装置，喷砂装置的喷砂孔出口通过进砂管与喷砂嘴连通。

上述的多功能喷砂造型机，所述的喷砂装置是由一个设有进气孔的砂筒底座，固定在砂筒底座上的砂筒和砂筒上盖，以及连接砂筒底座的进气孔的气体调制器组件构成。

上述的多功能喷砂造型机，所述的气体调制器组件是由连接砂筒底座进气孔的导气管，连接在导气管外端的铜套，连接在铜套外端的进气管，以及缠绕在铜套外面的电磁线圈和设在铜套内的铁芯构成。

上述的多功能喷砂造型机，在砂筒上盖的中心设有加砂口，在砂筒上盖下表面设有弹性封口板。

上述的多功能喷砂造型机，所述的动力装置是由固定在机座内的轴座，安装在轴座内的可旋转的转轴和固定在转轴下端的电机座板，固定在电机座板上的电机，以及设在电机座板自由端与机座之间的传动拉簧构成，所述的电机轴与主轴通过摩擦轮传动。

上述的多功能喷砂造型机，在机座上位于喷砂装置的另一侧固定有立板，在立板上安装有可旋转的槽型调整座，在槽型调整座的一侧与立板下部之间设有下拉簧，在立板上设有压在槽型调整座另一侧的纵向调节螺栓，在槽型调整座的槽内设有导柱且在导柱上套有横向滑动座，在横向滑动座一侧的导柱上套有压力弹簧，在槽型调整座上位于横向滑动座的另一侧设有横向调节螺栓，所述的支撑梁贯穿并固定在横向滑动座上。

上述的多功能喷砂造型机，在所述的支撑梁一端固接有轴套，在轴套内通过顶丝固定有短轴，所述的喷砂嘴沿径向贯穿并固定在短轴上。

本实用新型的优点是：实现了机械自动化操作，工作效率高，角度控制精确，成品率高，加工质量好，避免了手工磨角对产品质量的影响，对工人能力要求较低，同时降低了生产成本；由于喷砂嘴角度可调，因此可完成各种角度的磨角。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是图1中气体调制器组件的局部放大图。

图中：机座1，砂筒支脚2，气体调制器组件3，砂筒底座4，进气孔401，喷砂孔402，砂筒5，砂筒上盖6，加砂口601，进砂管7，挡砂箱8，芯片夹盘9，喷砂嘴10，轴套11，短轴12，支撑梁13，导柱14，压力弹簧15，下拉簧16，纵向调节螺栓17，槽型调整座18，横向调节螺栓19，横向滑动座20，立板21，轴座22，转轴23，电机座板24，电机25，主轴26，摩擦轮27，轴承座28，传动拉簧29，导气管30，铜套31，电磁线圈32，进气管33，密封圈34，铁芯35，排气通道3501，弹性封口板36，砂筒导气管37。

具体实施方式

如图所示，该多功能喷砂造型机有一个机座1，在机座1上通过螺栓固定有挡砂箱8，在挡砂箱8后面设有排烟口，在机座1上位于挡砂箱8内中部贯穿有主轴26，主轴26通过轴承座28和轴承安装在机座1上，在主轴26上端插装有芯片夹盘9，芯片夹盘9内孔与主轴26锥面配合。在机座1内设有驱动主轴26旋转的动力装置，动力装置是由固定在机座1内的轴座22，通过轴承安装在轴座22内的转轴23和固定在转轴23下端的电机座板24，通过螺栓固定在电机座板24上的电机25，以及设在电机座板24自由端与机座1之间的传动拉簧29构成，所述的电机轴与主轴26通过一对摩擦轮27传动。