[实用新型]多工位自动磨角机

说明书

技术领域

本实用新型特别涉及一种用于半导体生产工艺中完成磨角环节的多工位自动磨角机。

背景技术

在半导体生产工艺中，传统的半导体芯片手工磨角工艺，是在磨盘电动旋转的基础上，人工将芯片按压在磨盘上滑动磨角，同时手动填砂，时间、力度、角度、填砂量都需要工人凭经验决定，因此对工人的能力有很高要求；同时手工磨角工作效率低，成品率低，对成品芯片的质量也有一定影响。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种工作效率高，成品率高，加工质量好，对工人能力要求较低并可降低生产成本的多工位自动磨角机。

本实用新型涉及的多工位自动磨角机包括一个机架，在机架上前部设有立板，在立板上均布有多根垂直布置并可旋转的主轴，在主轴上端分别设有支撑盘，在支撑盘上面分别设有磨盘，在磨盘上放置有芯片压盘，在机架后部设有具有两个输出轴端的驱动装置，驱动装置的一个输出轴端通过皮带或链条传动机构与主轴连接，在机架上位于主轴和驱动装置之间铰接有摆动架，在摆动架的上端铰接有摆轴，在摆轴上对应每个磨盘处分别套装有推杆，推杆前部分别通过插销压在对应的芯片压盘的中心孔内，驱动装置的另一个输出轴端通过曲柄连杆机构与摆动架的中部连接。

上述的多工位自动磨角机，在立板上端固定有浆槽，所述的主轴上部分别贯穿浆槽且支撑盘和磨盘分别位于浆槽内，在机架内放置有砂浆桶，在浆槽底面均布有分别插入到砂浆桶内的排浆管。

上述的多工位自动磨角机，在机架上固定有支架，在支架上支撑有加浆管，在加浆管上均布连接有阀门和注浆软管，在砂浆桶内设有水泵，水泵与加浆管通过上水管连通，以实现自动添加金刚砂浆。

上述的多工位自动磨角机，在支撑盘上表面的中心和靠近边缘处分别设有一个卡销，支撑盘与磨盘通过插入支撑盘内的卡销传动。

上述的多工位自动磨角机，所述的曲柄连杆机构是由固定在所述驱动装置的另一个输出轴端的连接座和通过铰轴与连接座偏心铰接的连杆构成，连杆的另一端与固定在摆动架中部的销轴铰接，在连接座的上表面沿径向设有燕尾槽，所述的铰轴下端固定在燕尾槽内，以便于调整曲柄连杆机构的曲柄长度，从而调节推杆的往复行程。

上述的多工位自动磨角机，在推杆的外端分别设有配重，以将芯片压盘紧压在磨盘上。

本实用新型的优点是：实现了机械自动化加工，工作效率高，避免了传统的手工磨角工艺对产品质量的影响，成品率高，加工质量好；对工人能力要求较低，每人可同时操作四台设备，大大减少了工人数量，降低了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的俯视图。

图中：机架1，主轴2，轴套3，立板4，支撑盘5，卡销6，磨盘7，浆槽8，芯片压盘9，配重10，插销11，推杆12，注浆软管13，阀门14，加浆管15，上水管16，支架17，摆轴18，摆动架19，销轴20，连杆21，铰轴22，连接座23，减速机24，电机25，皮带或链条传动机构26，摆动架支座27，水泵28，砂浆桶29，排浆管30。

具体实施方式

如图所示，该多工位自动磨角机包括一个机架1，在机架1上前部固定有立板4，在立板4上分别通过轴套3和轴承均布安装有多根垂直布置的主轴2，本实施例以四根主轴为例，在主轴2上端分别固定有支撑盘5，在支撑盘5上面分别设有上表面为内凹弧形面的磨盘7，在支撑盘5上表面的中心和靠近边缘处分别设有一个卡销6，支撑盘5与磨盘7通过插入支撑盘5内的卡销6传动。在磨盘7上放置有芯片压盘9。

在机架1后部安装有驱动装置，驱动装置是由电机25和减速机24连接而成。在机架1上位于主轴2和驱动装置之间固定有摆动架支座27，在摆动架支座27上铰接有摆动架19，在摆动架19的上端横穿铰接有摆轴18，在摆轴18上对应每个磨盘7处分别套装有一根推杆12，在推杆12前部分别固定一个插销11，插销11下端插入对应的芯片压盘9的中心孔内，在推杆12的外端分别固定有配重10。所述减速机24的上、下两端分别设有输出轴端，其中位于下端的输出轴端通过皮带或链条传动机构26与主轴2下端连接，本实施例以皮带传动机构为例；位于上端的输出轴端通过一个曲柄连杆机构与摆动架19的中部连接。

所述的曲柄连杆机构是由固定在减速机24上端的输出轴端的连接座23和通过铰轴22与连接座23偏心铰接的连杆21构成，连杆21的另一端与固定在摆动架19中部的销轴20铰接。在连接座23的上表面沿径向设有燕尾槽，所述的铰轴22下端固定在燕尾槽内，以便于调整曲柄连杆机构的曲柄长度，从而调节推杆的往复行程。