[实用新型]一种坩埚遮热板

说明书

技术领域

本实用新型为一种遮热板，特别涉及一种制作石英坩埚的坩埚遮热板，属于坩埚炉部件技术领域。

背景技术

用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。现在制作石英坩埚时所使用的石英坩埚遮热板，由4块方形板组成，中间形成一个方形的孔，不易安装；4块方形板之间缝隙大，密封性差，保温效果差，且造成工作环境温度高。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述现有技术中，坩埚遮热板不易安装，密封性差，保温效果差，且造成工作环境温度高的缺陷，提供了一种坩埚遮热板，可达到易安装，密封性好，保温效果好，且可降低工作环境温度的目的。

为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是：一种坩埚遮热板，包括内孔，所述坩埚遮热板包括前遮热板和后遮热板，所述前遮热板包括前半圆缺口，所述后遮热板包括后半圆缺口；前遮热板和后遮热板对合设置，前半圆缺口和后半圆缺口相对应，形成一个圆形内孔；圆形内孔的直径为25-30cm。

所述圆形内孔的直径为27cm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)易安装，密封性好，保温效果好；

(2)可降低工作环境温度，改善操作人员的工作环境。

附图说明

附图1：前遮热板和后遮热板对合后示意图；

附图2：前遮热板和后遮热板分开后示意图；

附图3：前遮热板和后遮热板使用状态主视图；

附图4：前遮热板和后遮热板使用状态左视剖视图；

附图标记说明：1前遮热板、11前半圆缺口、2后遮热板、21后半圆缺口、3内孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。

如图1-4所示，一种坩埚遮热板，包括内孔，所述坩埚遮热板包括前遮热板1和后遮热板2，所述前遮热板1包括前半圆缺口11，所述后遮热板2包括后半圆缺口21；前遮热板1和后遮热板2对合设置，前半圆缺口11和后半圆缺口21相对应，形成一个圆形内孔3；圆形内孔的直径为27cm。

以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。