[实用新型]一种行星式外延生长设备中的托盘装置

权利要求书

1.一种行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：所述装置包括：

一只圆形主托盘（1），所述圆形主托盘（1）的中心有一个安装张力盘（2）的圆孔（11），所述圆形主托盘（1）的同一圆周上对称布置至少两个安装基片盒组件（3）的圆孔（12），每个所述圆孔（12）上有石墨滚珠（15）及其转动的环形轨道（14），所述圆形主托盘（1）底面的同一圆周上对称布置至少三个安装石墨支柱（45）的圆形盲孔（13）；

一只张力盘（2）；

至少两只基片盒组件（3），每只所述基片盒组件（3）包括外齿轮圈（31），基片盒（32），石墨压盖（33），所述外齿轮圈（31）的底部端面有环形轨道（311）、轮齿（312），所述基片盒（32）有基片沉积面孔（321）、基片座（322）、石墨压盖座（323）、上卡边（324）和下卡边（325），所述上卡边（324）和下卡边（325）的直径大于所述外齿轮圈（31）轮毂的内径，小于所述外齿轮圈（31）轮毂的中径，所述石墨压盖（33）上面中心有一个工艺螺孔（331）；

一只圆形下层扩散托盘（4），所述圆形下层扩散托盘（4）的底面中心有一个安装石墨支撑组件（44）的多边形凹槽（41）和圆形通孔（42），所述圆形下层扩散托盘（4）上面的同一圆周上对称安装至少三个石墨支柱（45）及其安装盲孔（43）；所述石墨支撑组件（44）包括一个石墨支撑管（441）和一个石英套管（442），所述石墨支撑管（441）有一个多边形的台（4411）；

一个外围固定环（5），所述外围固定环（5）的内圈有一个支撑所述圆形下层扩散托盘（4）的环形台（51），所述外围固定环（5）上面的同一圆周上对称安装至少三个石墨支柱（53）及其安装盲孔（52）；

一个外围内齿圈（6），所述外围内齿圈（6）底面的同一圆周上至少均布三个安装石墨支柱（53）的圆形盲孔（61），所述外围内齿圈（6）的内环有轮齿（62）和一个遮罩所述圆形主托盘（1）的环形台（63）。

2.根据权利要求1所述的行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：

所述外围固定环（5）固定在反应装置内部，并在所述圆形盲孔（52）上安装石墨支柱（53）。

3.根据权利要求1所述的行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：

所述圆形下层扩散托盘（4）的凹槽（41）和圆形通孔（42）处安装石墨支撑组件（44），所述圆形下层扩散托盘（4）的多边形凹槽（41）和圆形通孔（42）分别与所述石墨支撑管（441）的多边形台（4411）和石英套管（442）的外圆紧密配合，所述圆形下层扩散托盘（4）上面的圆形盲孔（43）处安装石墨支柱（45）。

4.根据权利要求1所述的行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：

所述圆形主托盘（1）底面的圆形盲孔（13）对应安装在石墨支柱（45）上，所述张力盘（2）安装在圆孔（11）处，所述石墨滚珠（15）安装在环形轨道（14）处，所述基片盒组件（3）安装在圆孔（12）处，所述外齿轮圈（31）底部端面的环形轨道（311）与所述石墨滚珠（15）和环形轨道（14）相配合成一个平面轴承。

5.根据权利要求1所述的行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：

所述外围内齿圈（6）底面的圆形盲孔（61）对应安装在石墨支柱（53）上，所述外围内齿圈（6）的轮齿（62）与所述外齿轮圈（31）的轮齿（312）配合成齿轮传动副，所述圆形主托盘（1）的外圈遮罩在所述环形台（63）内。

6.根据权利要求1所述的行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：

所述石英套管（442）的内孔与所述外围固定环（5）的上面和所述圆形下层扩散托盘（4）的上面，以及所述外围内齿圈（6）的底面和圆形主托盘（1）的底面，形成反应气体的流通路径（8），所述外围固定环（5）的上面和所述圆形下层扩散托盘（4）的上面与所述外围内齿圈（7）的底面和圆形主托盘（1）的底面，形成气相金属有机化合物发生化学淀积外延生长反应的腔体（81）。