[实用新型]蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构有效
申请号: | 201120166998.4 | 申请日: | 2011-05-23 |
公开(公告)号: | CN202099407U | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 谢旭明;张新忠;曹俊辉 | 申请(专利权)人: | 无锡斯达新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/20 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214187 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 晶体生长 长晶炉 结构 | ||
1.一种蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:包括炉体(16),所述炉体(16)的下部设有用于放置坩埚(18)的旋转支撑台(8),所述旋转支撑台(8)位于炉体(16)的中心部位;炉体(16)内设有用于对坩埚(18)加热的热场(13),所述热场(13)位于旋转支撑台(8)的外圈;炉体(16)内对应于热场(13)的外圈设有保温层(7);炉体(16)的底端设有进水口(9)及出水口(10),所述进水口(9)与出水口(10)与炉体(16)相连通;炉体(16)的上部设有气管(3),所述气管(3)与炉体(16)相连通。
2.根据权利要求1的蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:所述热场(13)包括电磁或电阻加热线圈。
3.根据权利要求1的蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:所述旋转支撑台(8)与用于驱动旋转支撑台(8)转动的下驱动电机(11)相连;旋转支撑台(8)的中心区设有旋转支撑轴(15),所述旋转支撑轴(15)与下旋转电机(11)的输出轴相连。
4.根据权利要求1的蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:所述炉体(16)内的底端设有用于测温的热电偶(12);所述热电偶(12)为铼钍合金热电偶。
5.根据权利要求1的蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:所述炉体(16)内的上部设有CCD视频传感器(2)。
6.根据权利要求1的蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:所述炉体(16)的上方设有上旋转电机(1),所述上旋转电机(1)的输出轴上设有引晶柱(14),所述引晶柱(14)对应于与上旋转电机(1)的输出轴相连的另一端伸入炉体(16)内;引晶柱(14)对应于伸入炉体(16)内的端部安装有籽晶(4)。
7.根据权利要求6的蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构,其特征是:所述上旋转电机(1)与控制器(17)的输出端相连,所述控制器(17)分别与用于观察炉体(16)内的CCD视频传感器(2)、用于测量炉体(16)内工作温度的热电偶(12)及下旋转电机(11)相连;所述下旋转电机(11)的输出轴与旋转支撑台(8)相连。
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