[实用新型]单晶炉真空过滤器

说明书

技术领域

 本实用新型涉及单晶炉生产领域，具体地说，涉及一种单晶炉真空过滤器。用于阻止单晶炉中的气体颗粒杂质进入真空泵中造成真空泵损坏而影响单晶炉的正常运行。

背景技术

单晶炉生产运行过程中，在炉体内部必须保证一定的真空，才能保证单晶硅的生长，同时必须通入氩气进行保护，这样就必须保证连续不断的进行抽真空，由于单晶炉中多晶硅原料有部分飞溅，被抽人真空系统，其一旦进入真空泵，会影响真空泵的正常运行，甚至造成真空泵的损坏，就必须对进入真空泵的气体进行过滤净化，传统的过滤器虽然能起到过滤作用，但是清理维修不方便，特别是内过滤胆的拆卸清理很不方便。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种单晶炉真空过滤器，它能有效防止单晶炉抽出的真空气体经过过滤进入真空泵并排出，确保真空泵和单晶炉的正常工作。

实现上述目的的技术方案是：一种单晶炉真空过滤器，包括具有上盖的过滤器本体，过滤器本体的上部设置有快速拆卸法兰，过滤器本体的侧部设置有进气管，进气管后部设置有进气挡板，过滤器本体内部具有连通管，过滤器本体的顶部具有排气口，连通管的下端通过连接有出气管，连通管的上部具有进气孔，过滤器本体内的进气管出口处安装有过滤胆，过滤胆的上端和下端与过滤器本体内壁密封连接，过滤胆与过滤器本体内壁的连接为可拆卸连接，且过滤胆上包覆有不锈钢滤网。

过滤器本体的上盖通过可拆卸法兰连接在过滤器本体上，可拆卸法兰上旋有可拆卸螺栓。

采用上述技术方案后，进气管气体进入过滤器后所有的杂质被过滤胆挡在过滤器本体与胆体之间，纯净的气体从连通管上部的进气孔进入连通管，经下部与连通管连接的出气管的出气口，排出纯净气体，而将杂质截留在过滤胆外部。本体顶部设置有排气接口，当运行一个阶段后，杂质变多，需要清理，此时，打开顶部排气口，取下快速拆卸螺栓，打开过滤器本体的上盖，由于过滤胆与本体内壁的连接为可拆卸连接，因此可方便地取出过滤胆体，清除附着在过滤胆表面的杂质后，可以再次投入使用。节省了大量的维修时间和间隙，缩短了单晶炉由于清理真空过滤器需要停炉等待的时间，大大提高了单晶炉的利用效率，经济效益显著。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的俯视示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1~2所示，一种单晶炉真空过滤器，包括具有上盖的过滤器本体8，过滤器本体8的上部设置有快速拆卸法兰6，过滤器本体8的侧部设置有进气管4，进气管4后部设置有进气挡板3，过滤器本体8内部具有连通管1，过滤器本体8的顶部具有排气口5，连通管1的下端通过连接法兰9连接有出气管10，连通管1的上部具有进气孔，过滤器本体内8的进气管出口处安装有过滤胆2，过滤胆2的上端和下端与过滤器本体8内壁密封连接，过滤胆2与过滤器本体8内壁的连接为可拆卸连接，且过滤胆2上包覆有不锈钢滤网。不锈钢滤网的网孔采用200目的规格。

过滤器本体8的上盖通过可拆卸法兰6连接在过滤器本体8上，可拆卸法兰6上旋有可拆卸螺栓7。

本实用新型的工作原理如下：使用前检查过滤器顶部的排气阀门是否处于关闭状态，保持关闭，启动真空泵，然后缓慢打开单晶炉的真空管路控制阀门，使得单晶炉的真空系统从过滤器的进气管4进入过滤器，经过进气挡板3挡住部分较大颗粒的杂质，防止对过滤器本体内的过滤胆2进行伤害，进入过滤器本体内部后，在过滤器本体8内壁与过滤胆2之间的空间运动，均匀地通过包覆在过滤胆体上的200目的不锈钢滤网，将绝大部分的颗粒杂质截留在不锈钢滤网表面，洁净的真空气体经过连通管1上部的进气孔进入连通管1，经连通管1下端的出气管10的出气口排出进入真空泵，从而保证了进入真空泵的气体的纯净度，减少了大量的颗粒对真空泵造成的影响。当过滤胆2表面的附着杂质达到一定程度以后，会影响真空泵对单晶炉抽真空速率时，这时就必须对真空过滤器进行维修清理，此时，只需停止真空泵的运行，关闭与单晶炉连接的真空阀，打开过滤器顶部的排气阀，取下过滤器上部法兰的快速拆卸螺栓，打开过滤器上盖，取出过滤胆2，对过滤胆2上包覆的不锈钢滤网进行清理，就能清除截留在表面的杂质，使过滤器恢复原有的功能。