[实用新型]多反应室MOCVD反应器有效

申请号：	201120169848.9	申请日：	2011-05-25
公开（公告）号：	CN202131367U	公开（公告）日：	2012-02-01
发明（设计）人：	颜秀文;王慧勇;魏唯;刘红江	申请（专利权）人：	湖南红太阳光电科技有限公司
主分类号：	C23C16/44	分类号：	C23C16/44
代理公司：	长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113	代理人：	马强
地址：	410205 湖南***	国省代码：	湖南;43
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摘要：
搜索关键词：	反应 mocvd 反应器
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【权利要求书】：

1.一种多反应室MOCVD反应器，包括反应室(4)和设在该反应室(4)一侧预备室(1)，以及设在该反应室(4)另一侧的取片室(2)，其特征是，所述反应室(4)为多个，每个反应室(4)内均放置一个作为单腔反应室独立生长的石墨托盘(5)。

2.根据权利要求1所述的多反应室MOCVD反应器，其特征是，所述多个反应室(4)和预备室(1)、取片室(2)呈环状布置，在环状的中心装有一个在预备室(1)、反应室(4)和取片室(2)之间传送石墨托盘(5)的机械传送装置。

3.根据权利要求2所述的多反应室MOCVD反应器，其特征是，所述机械传送装置为单臂多轴机械手。

4.根据权利要求1～3之一所述的多反应室MOCVD反应器，其特征是，所述反应室(4)为四个，其中两个反应室(4)位于MOCVD反应器的左部，另两个反应室(4)位于MOCVD反应器的右部，所述预备室(1)位于MOCVD反应器的上部，所述取片室(2)位于MOCVD反应器的下部。

5.根据权利要求1～3之一所述的多反应室MOCVD反应器，其特征是，所述反应室(4)、预备室(1)和取片室(2)之间通过插板阀隔离。

6.根据权利要求1～3之一所述的多反应室MOCVD反应器，其特征是，所述石墨托盘(5)的直径大于350mm，每个石墨托盘(5)内容纳2英寸衬底至少21片。

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