[实用新型]一种电子级化学品输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及通过管道输送流体，具体来说涉及一种电子级化学品输送装置。

背景技术

目前国内应用于电子级化学品输送方式，多采用离心泵输送，在电机的驱动力下，带动叶轮转动产生离心力，将物料由泵的进口吸入，从泵的出口甩出，达到对物料的输送。在输送物料时泵与物料发生接触，并且叶轮在高速旋转时与物料会产生很大的摩擦力，对电子级化学品会产生很大影响。离心泵制造商为了减少离心泵在输送过程中对电子级化学品的污染，采用特殊材质(如合金、高纯密度聚乙烯--HDPE、聚四氟乙烯-PTFE、聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚-PFA等)，可减少泵在输送过程中对物料的污染，但价格非常贵(一台流量3m3/h钢衬PFA泵价格为12万元左右)，另外离心泵与物料发生直接接触，物料会产生很大的摩擦力，对化学品会产生污染，如果输送的物料为晶浆，泵会对晶体产生破坏；并且在离心泵停止运行时，管道、泵内的余料无法排出，如输送物料为电子级磷酸，因电子级磷酸在低温条件下易结晶，造成管线堵塞，导致清理困难，从而造成污染，并影响产品的质量及生产周期。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的缺陷，提供结构简单、实用、洁净、有效的一种电子级化学品输送装置，以满足电子级化学品在输送过程不被污染的需要。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种电子级化学品输送装置，包括若干物料罐、输送管道、真空物料罐、真空泵，其特征在于各物料罐经输送支管接输送总管再接真空物料罐，真空物料罐接真空泵，所述输送支管的吸入口插入物料罐底部，输送支管接有吸入量调节阀，输送总管接有排放调节阀，所述真空物料罐置有真空调节阀。

物料罐为一个或多个，本实用新型可以同时对多个串联的物料罐内的物料进行输送。

本实用新型是一种洁净输送方式，利用真空原理实现电子级化学品的输送，是一种不需要泵与物料直接接触就能实现流体输送的技术，该方法能耗低、成本低，输送的流速快，具有设备简单易于安装，易于清洁，低噪音，无尘输送，操作过程易控制，对输送的产品纯度有保证，具有很好的经济效益。

本实用新型提供的一种电子级化学品输送装置，通过实际使用证明，达到了预定目的，适用于电子级化学品的输送。

附图说明

附图1为本实用新型结构示意图；

图中：1为物料罐，2为输送支管，3为输送总管，4为真空物料罐，

5为真空泵，6为吸入量调节阀，7为排放调节阀，8为真空调节阀，9为真

空阀。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：

附图1示意了本实用新型的结构，本实施例有两个物料罐1，物料罐1经输送支管2接输送总管3再接真空物料罐4，真空物料罐4接真空泵5，所述输送支管2的吸入口插入物料罐1底部，输送支管2接有吸入量调节阀6，输送总管3接有排放调节阀7，所述真空物料罐4置有真空调节阀8。

生产时，开启真空泵5，打开真空阀9对真空物料罐4抽空，真空度由真空调节阀8调节，开启排放调节阀7和吸入量调节阀6，分别调节电子级化学品输送流量和各吸入口的流量，实现电子级化学品的输送。

本实用新型已在某厂电子级化学品的输送生产装置上运用，取代了原输送方式，输送的产品纯度有保证，具有很好的经济效益。