[实用新型]一种新型芯片加工装置有效
申请号: | 201120171487.1 | 申请日: | 2011-05-26 |
公开(公告)号: | CN202126996U | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 王志强 | 申请(专利权)人: | 青岛亚元半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 芯片 加工 装置 | ||
技术领域:
本实用新型涉及一种芯片加工设备,具体涉及一种新型芯片加工装置。
背景技术:
随着半导体制造技术的进步,大规模集成电路的集成度越来越高,在笔记本计算机、液晶显示器、数码相机、手机及各种随身携带的视频与音像制品中大量使用的IC芯片,芯片是从晶圆切割而成,在切割过程中切口有毛边,且切取芯片的尺寸不容易确定,使生产效率大大降低。
实用新型内容:
本实用新型的目的是提供一种新型芯片加工装置,它能使芯片尺寸符合所需的标准,切口齐平,无毛边,生产效率高。
为了解决背景技术所存在的问题,本实用新型采取以下技术方案:它包含放置块1、切刀2、放置孔3和定位装置4,放置块1内设置有放置孔3,切刀2垂直固定于放置孔3的出口侧,切刀2的侧边设置有定位装置4。
所述的切刀2紧贴于放置孔3的出口。
本实用新型使用时将晶圆从放置块1内的放置孔3穿过,通过定位装置4设定切取的尺寸,当晶圆的一端到达定位装置4时,晶圆被切刀2切断。
本实用新型具有以下有益效果:它能使芯片尺寸符合所需的标准,切口齐平,无毛边,生产效率高。
附图说明:
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式:
参照图1,本具体实施方式采取以下技术方案:它包含放置块1、切刀2、放置孔3和定位装置4,放置块1内设置有放置孔3,切刀2垂直固定于放置孔3的出口侧,切刀2的侧边设置有定位装置4。
所述的切刀2紧贴于放置孔3的出口。
本具体实施方式使用时将晶圆从放置块1内的放置孔3穿过,通过定位装置4设定切取的尺寸,当晶圆的一端到达定位装置4时,晶圆被切刀2切断。
本具体实施方式能使芯片尺寸符合所需的标准,切口齐平,无毛边,生产效率高。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造