[实用新型]一种膜片传感器

权利要求书

1.一种膜片传感器，包括：第一膜片层(1)、第二膜片层(2)和中间隔离层(3)，第一膜片层(1)、第二膜片层(2)和中间隔离层(3)重叠放置，中间隔离层(3)位于第一膜片层(1)和第二膜片层(2)之间，第一膜片层(1)包括第一基片层(101)和第一导电膜层(102)，第一导电膜层(102)位于第一基片层(101)与中间隔离层(3)之间，第二膜片层(2)包括第二基片层(201)和第二导电膜层(202)，第二导电膜层(202)位于第二基片层(201)与中间隔离层(3)之间，其特征在于，第一膜片层(1)上设有至少一个贯通的排气孔(4)，第二膜片层(2)上设有至少一个贯通的排气孔(4)，所述中间隔离层(3)上设有至少一个与排气孔(4)连通的导通孔(5)，从膜片传感器的垂直方向看，所述导通孔(5)位于第一导电膜层(102)和第二导电膜层(202)的重叠区域内。

2.如权利要求1所述的膜片传感器，其特征在于，导通孔(5)大于排气孔(4)，从膜片传感器的垂直方向看，排气孔(4)位于导通孔(5)内。

3.如权利要求2所述的膜片传感器，其特征在于，第一导电膜层(102)和第二导电膜层(202)的形状相同，从膜片传感器的垂直方向看，第一导电膜层(102)和第二导电膜层(202)重合。

4.如权利要求3所述的膜片传感器，其特征在于，中间隔离层(3)包括方形框体部(301)，所述导通孔(5)为8个，其中4个导通孔(5)位于方形框体部(301)的一个长边上，另外4个导通孔(5)位于方形框体部(301)的另一个相对长边上；

第一导电膜层(102)包括第一U形框架部(103)，第一U形框架部(103)的两个支脚上各设有4个第一圆形扩大部(105)，8个第一圆形扩大部(105)分别与8个导通孔(5)对齐；

第二导电膜层(202)包括第二U形框架部，第二U形框架部的两个支脚上各设有4个第二圆形扩大部，8个第二圆形扩大部分别与8个导通孔(5)对齐。

5.如权利要求4所述的膜片传感器，其特征在于，第一膜片层(1)上的排气孔(4)为8个，8个排气孔(4)分别位于8个第一圆形扩大部(105)上，排气孔(4)贯穿第一基片层(101)和第一导电膜层(102)，从膜片传感器的垂直方向看，8个排气孔(4)分别位于8个导通孔(5)内；第二膜片层(2)上的排气孔(4)为8个，8个排气孔(4)分别位于8个第二圆形扩大部上，排气孔(4)贯穿第二基片层(201)和第二导电膜层(202)，从膜片传感器的垂直方向看，8个排气孔(4)分别位于8个导通孔(5)内。

6.如权利要求1所述的膜片传感器，其特征在于，所述中间隔离层(3)上设有导气槽(6)，所述导通孔(5)和排气孔(4)通过导气槽(6)连通，从膜片传感器的垂直方向看，导通孔(5)和排气孔(4)均位于导气槽(6)的延伸轨迹上。

7.如权利要求6所述的膜片传感器，其特征在于，第一导电膜层(102)和第二导电膜层(202)的形状相同，从膜片传感器的垂直方向看，第一导电膜层(102)和第二导电膜层(202)重合。

8.如权利要求7所述的膜片传感器，其特征在于，中间隔离层(3)包括方形框体部(301)，所述导通孔(5)为8个，其中4个导通孔(5)位于方形框体部(301)的一个长边上，另外4个导通孔(5)位于方形框体部(301)的另一个相对长边上，导气槽(6)位于方形框体部(301)上，导气槽(6)成U形延伸，导气槽(6)与8个导通孔(5)连通；

第一导电膜层(102)包括与导气槽(6)的形状相适配的第一U形框架部(103)，第一U形框架部(103)的两个支脚上各设有4个第一圆形扩大部(105)，8个第一圆形扩大部(105)分别与8个导通孔(5)对齐；

第二导电膜层(202)包括与导气槽(6)的形状相适配的第二U形框架部，第二U形框架部的两个支脚上各设有4个第二圆形扩大部，8个第二圆形扩大部分别与8个导通孔(5)对齐。