[实用新型]一种防着板起吊夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶生产制造领域，尤其涉及一种针对磁控溅射机中防着板的起吊夹具。

背景技术

在液晶生产制造过程中，尤其是薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)的生产制造过程中，需要使用磁控溅射机进行镀膜。采用磁控溅射机进行镀膜时，磁控溅射机中的溅射源在电场的作用下产生加速电子，这些加速电子与磁控溅射机真空腔中预先充入的惰性气体碰撞得到带正电的粒子，带正电的粒子受到阴极(靶材)的吸引而撞击靶材表面的原子，这些原子因受到带正电的粒子的撞击而获得动量转移，进而产生垂直靶材表面的作用力，将靶材表面的原子碰撞出去而沉积在被镀物上完成镀膜。

为了防止原子沉积于被镀物以外的地方，例如磁控溅射机腔体的两侧和上下内壁，避免长期使用而导致腔体内壁受到污染，在磁控溅射机内部放置被镀物的置物板的四周安装防着板。防着板由平面防着板和侧面防着板组成，采用金属或合金加工成与磁控溅射机腔体相匹配的尺寸和形状，并对其表面进行加工处理后，安装在磁控溅射机的腔体中。其中，平面防着板的结构如附图1所示，呈方框状，由8块组成，上下各有两块并呈对称分布，左右两侧各有两块并呈对称分布，位于四角位置的左上角、右上角、左下角、右下角的4块上分别分布有七个安装定位孔，并且水平方向上分布有六个安装定位孔，水平方向中间的两个安装定位孔对应腔室背铜板的定位销的位置，位于左右两侧的四块上分别分布有六个安装定位孔，中间的两个安装定位孔对应腔室背铜板的定位销的位置。分别针对每块平面防着板，垂直于该平面防着板方向在其边缘通过螺钉安装相应的侧面防着板，如附图2所示，且侧面防着板上没有安装定位孔。

目前，由于天车吊钩不能从竖直方向直接进入磁控溅射机的腔室内部，以将防着板对应在背铜板的相应位置安装螺帽，因此，在安装或拆卸防着板时均采用人工方式，在安装每块防着板时，必须由2-3人将重达四十公斤的防着板抬上扶梯，再举至头顶将防着板放置在背铜板的相应位置进行安装，同样，在拆卸时，也需要人工将表面镀有厚厚的金属层(如钼、铝、铝-钕等)或氧化铟锡的防着板，逐块拆卸并抬出磁控溅射机腔体。这就使得在安装或拆卸防着板时效率低下，并且需要耗费很大的人力，也存在一定的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型提供一种防着板起吊夹具，使得能够借助天车将防着板放置在溅射机的腔体内部再进行安装，提高了工作效率，节省了人力资源，也提高了安全系数。

本实用新型提供的具体技术方案如下：

一种防着板起吊夹具，包括：

吊环，固定连接在调重支撑架的上表面上；

调重支撑架，为水平放置的直角三角柱，直角所在的一个侧面作为上表面，与水平支撑架平行且位于水平支撑架的上方，其上固定连接吊环，直角所在的另一侧面与水平支撑架的上表面垂直，且固定连接在水平支撑架的一条侧边上；

水平支撑架，水平框架形结构，一条侧边上固定连接调重支撑架，与其相对的另一条侧边为直线导轨式结构，在该直线导轨上放置滑动单元，其中，固定连接调重支撑架的侧边与采用直线导轨式结构的侧边之间的距离，大于或等于调重支撑架水平宽度与磁控溅射机腔体深度之和；

卡夹，包括与所述滑动单元相连接的连接杆，该连接杆的下端固定连接一竖直杆，在垂直于该竖直杆的水平杆上设置滑槽，并在该滑槽中放置滑块，该滑块上连接对位柱，该对位柱的直径小于或等于防着板上安装定位孔的直径。

基于上述技术方案，天车可以通过连接起吊夹具的吊环起吊防着板，在起吊防着板之前，通过起吊夹具的调重支撑架和水平支撑架保持起吊防着板时的重量平衡，并且可以通过水平支撑架上的滑动单元进一步调节重量平衡，其中，通过起吊夹具中的卡夹固定防着板，即通过控制卡夹中的滑块，使水平杆插入防着板的安装定位孔，以进行起吊，并在到达背铜板时，将防着板推至准确的定位孔位置进行安装。按照上述方法进行逆序操作，也可以对防着板进行拆卸。综上所述，采用本实施例提供的防着板起吊夹具，使得能够借助天车将防着板放置在溅射机的腔体内部再进行安装，避免了人工搬运防着板，在提高工作效率的同时，节省了人力资源，并提高了安全系数。

附图说明

图1为现有技术中平面防着板的结构示意图；

图2为现有技术中平面防着板和侧面防着板组合示意图；

图3为本实施例中防着板起吊夹具的结构示意图；

图4为本实施例中圆柱直线导轨结构示意图；

图5为本实施例中滑动单元的结构示意图；