[实用新型]立式真空镀膜机的自动取放基板装置

权利要求书

1.一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，所述立式真空镀膜机的自动取放基板装置包括：

一立起的主架；

一基板载具，其为一设于所述主架内的立起的框体，所述基板载具能滑动地与所述主架连接并形成一基板容置空间；以及

多个取放组件，其固设于所述主架并各包括一固设于所述主架的第一驱动单元、一固设于相对应的所述第一驱动单元的第二驱动单元、一固设于所述第二驱动单元的滑块拨件、一能滑动地与所述基板载具结合且能与所述滑块拨件凹凸结合的顶抵滑块及一位于所述基板载具内的弹性元件；其中，各所述第一驱动单元及各所述第二驱动单元使相对应的所述滑块拨件能有两个维度的方向的位移，各所述顶抵滑块设有一伸入所述基板容置空间的顶抵端，所述弹性元件的两端分别抵住所述基板载具及相对应的所述顶抵滑块。

2.如权利要求1所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述第一驱动单元设有两能伸出缩回的第一驱动件，各所述第二驱动单元固设于相对应的所述第一驱动件并设有两能伸出缩回且与相对应的所述滑块拨件固设的第二驱动件。

3.如权利要求2所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述第一驱动单元及各所述第二驱动单元分别为一气压缸组。

4.如权利要求1或2或3所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述滑块拨件设有一呈凸出状的拨部；各所述顶抵滑块设有一能被相对应的所述拨部插入的拨孔。

5.如权利要求4所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵滑块设有一导孔；所述基板载具设有分别插入各所述导孔的导部。

6.如权利要求5所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵滑块设有一呈开设状且容置相对应的所述弹性元件的容槽。

7.如权利要求6所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵端的截面形状呈L形。

8.如权利要求7所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述弹性元件为一弹簧。

9.如权利要求1或2或3所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵端的截面形状呈L形。

10.如权利要求1或2或3所述的立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，各所述顶抵滑块设有一导孔；所述基板载具设有分别插入各所述导孔的导部。