[实用新型]多晶硅还原炉顶部出气装置有效
申请号: | 201120176689.5 | 申请日: | 2011-05-30 |
公开(公告)号: | CN202089779U | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 李东曦;郑飞龙;茅陆荣;郝振良 | 申请(专利权)人: | 上海森松环境技术工程有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 马育麟 |
地址: | 200137 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 炉顶 出气 装置 | ||
1.多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,包括出气总管、出气汇集管、连接出气汇集管与还原炉的出气支管。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,所述出气总管位于还原炉顶部。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,所述出气汇集管位于还原炉顶部。
4.根据权利要求1或3所述的多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,所述出气汇集管为环形。
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉顶部进气装置,其特征在于,所述出气支管为五个,其中一个位于还原炉中心,其余四个按环形均匀分布。
6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,所述出气支管位于还原炉封头,或者筒体,或者其他任意顶部位置,或者其组合。
7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,所述出气支管垂直于所在还原炉壳体。
8.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉顶部出气装置,其特征在于,所述多晶硅还原炉顶部出气装置与其他任意出气装置混合使用或者单独使用。
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