[实用新型]多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备

权利要求书

1.多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，包括脱氯装置和终端净化装置；

所述脱氯装置上设置有进气口和出气口，脱氯装置内填充有脱氯剂，所述脱氯装置通过进气口的管道与活性炭吸附塔相连；

所述终端净化装置上设置有入口与出口，终端净化装置内填充有活性炭，终端净化装置通过入口的管道与脱氯装置的出气口相连；

所述终端净化装置的容积为活性炭吸附塔容积的1/50～1/10。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的进气口和出气口处分别设置有阀门，所述终端净化装置的入口和出口处分别设置有阀门。

3.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的进气口和出气口，以及终端净化装置的入口和出口分别设置有过滤器。

4.根据权利要求3所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述过滤器为400-600目的过滤器。

5.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置为两个或两个以上的并联装置，所述终端净化装置为两个或两个以上的并联装置。

6.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述终端净化装置设置有冷热流体入口、冷热流体出口；所述终端净化装置在入口管道处分流出一个分管道，所述分管道上设置有再生气出口；所述终端净化装置在出口管道处分流出一个分管道，所述分管道上设置有再生气入口；所述冷热流体入口，冷热流体出口，再生气出口和再生气入口上分别设置有阀门。

7.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的脱氯剂为球形颗粒或环状颗粒。

8.根据权利要求7所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的脱氯剂为球形颗粒，所述球形颗粒直径为1-20㎜。

9.根据权利要求8所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述球形颗粒直径为3-10㎜。

10.根据权利要求7所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的脱氯剂为环状颗粒，所述环状颗粒的外直径为1-40㎜。

11.根据权利要求1所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的脱氯剂的耐压强度为大于0.7Mpa。

12. 根据权利要求11所述的多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，所述脱氯装置的脱氯剂的耐压强度为1.2～2.0Mpa。