[实用新型]组合坩埚

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种高温炉用工装，具体地说是一种坩埚，特别是涉及一种用碳/碳复合材料制备的组合坩埚。

背景技术

目前，单晶炉拉制单晶硅棒时，盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的坩埚内，在保护性气氛中加热熔化，调控到工艺温度后，籽晶经导流筒插入熔融多晶硅液中，坩埚放在埚托上由其下的埚托轴带动一同旋转，同时，籽晶也逆向旋转并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。在单晶硅棒拉制过程中，炉内温度高达1500℃左右，此时，石英坩埚变软，要靠外面的坩埚承托，拉晶后残留的石英坩埚常紧贴坩埚内壁。

由于石英坩埚是一次性工装，必须逐炉更换，当坩埚为整体结构时，则石英坩埚去除较为困难，去除时甚至损坏坩埚。当坩埚采用多瓣结构时，如石墨坩埚，因其力学性能较差，石墨坩埚在高温环境中使用，要承托石英坩埚及原材料的重量，并处于旋转状态，在外力的作用下容易破裂，因此，目前单晶炉用石墨坩埚一般采用多瓣结构。为提高了坩埚的力学性能，也有采用碳/碳复合材料制备多瓣结构坩埚。

坩埚采用多瓣结构虽然能解决去除石英坩埚残体的问题，但其多瓣结构仅靠其底锥面与埚托的内锥面配合而成为一体，多瓣结构坩埚的圆度不佳，且在使用过程中，其圆度还有可能发生变化，影响拉晶环境的稳定，整棒率和成晶率均受到影响，导致企业生产成本增加。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种方便去除石英坩埚残体且又保持坩埚圆度的组合坩埚。

本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种组合坩埚，它包括埚体，所述的埚体由2瓣～4瓣埚碗组成，相邻埚碗通过连接块将其组合成整体坩埚，所述的连接块为U形，相邻埚碗的对应处分别开设有一个L形槽，二个L形槽组合为可放置连接块的U形槽。

本实用新型为防止连接块脱出，所述埚碗与连接块之间设有销。

由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其结构简单，操作方便，减轻了工人的劳动强度，能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤，延长了组合坩埚的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2本实用新型的连接方式示意图；

图3是连接块3的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1：

由图1、图2、图3可知，一种组合坩埚，它包括埚体，所述的埚体由2瓣～4瓣埚碗2组成（本实施例为2瓣），相邻埚碗2通过连接块3将其组合成整体坩埚，所述的连接块3为U形，相邻埚碗2的对应处分别开设有一个L形槽，二个L形槽组合为可放置连接块3的U形槽。

所述组合坩埚组合、使用时，多瓣结构的埚碗2之间上部通过用连接块3组合成整体坩埚，下部靠其底锥面与埚托1的内锥面配合而成为一体。

本实用新型使用时，先将组合坩埚放于单晶炉内的埚托1上，然后将石英坩埚放入组合坩埚之中，再将多晶硅等原材料放入石英坩埚内，在保护气氛环境中将多晶硅等原材料加热熔化进行单晶硅棒的生产。当单晶硅棒拉制完毕去除石英坩埚残体时，取下连接块3即可将埚体分为2瓣，与石英坩埚残体脱开。

经实践试用，本实用新型操作方便，能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤，延长了组合坩埚的使用寿命，此外，组合坩埚的圆度好且稳定，相对多瓣埚拉晶，其整棒率提高3﹪～10﹪。

实施例2：

本实施例为防止连接块3脱出，埚碗2与连接块3之间设有销4。当单晶硅棒拉制完毕去除石英坩埚残体时，先取下销4，再取下连接块3即可将埚体分为2瓣，与石英坩埚残体脱开。

余同实施例1。