[实用新型]多晶硅生产废料全回收系统

权利要求书

1.一种多晶硅生产废料全回收系统，其特征在于：它包括废料罐、SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元、硅粉回收单元、金属氯化物回收单元，其中：

多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐的输入口输入，该废料罐的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的废料输入口，该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口，该萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接该硅粉回收单元的杂质输入口，该萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口，该萃取剂回流单元的输出口分别连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，洗涤剂罐的输出口分别连接该硅粉回收单元、该金属氯化物回收单元的洗涤剂输入口，该金属氯化物回收单元的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐、萃取剂回收罐的输入口，该萃取剂回收罐、萃取剂罐的输出口连接该SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口。

2.如权利要求1所述的多晶硅生产废料全回收系统，其特征在于：

所述SiCl₄及氯硅烷高聚物回收单元包括萃取蒸馏塔釜；该萃取蒸馏塔釜的废料输入口连接所述废料罐的输出口；该萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口连接所述萃取剂罐、所述萃取剂回收罐、所述萃取剂回流单元的输出口；该萃取蒸馏塔釜底部的底料输出口连接所述萃取剂与杂质分离单元的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl₄输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口，该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的SiCl₄回流口，该回流罐的产品输出口连接SiCl₄产品输出罐的输入口；位于该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物输出口经由一个开关阀、一个冷凝器连接一个回流罐的输入口，该回流罐的回流输出口连接该萃取蒸馏塔釜顶部的高聚物回流口，该回流罐的产品输出口连接高聚物产品输出罐的输入口。

3.如权利要求2所述的多晶硅生产废料全回收系统，其特征在于：

所述萃取剂与杂质分离单元包括塔底料罐，所述萃取剂回流单元包括萃取剂回流罐，所述萃取蒸馏塔釜的底料输出口连接该塔底料罐的输入口，该塔底料罐的输出口连接一个过滤器的输入口，该过滤器的萃取剂输出口连接该萃取剂回流罐的输入口，该萃取剂回流罐的输出口连接所述萃取蒸馏塔釜的萃取剂输入口和所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该过滤器的杂质输出口连接所述硅粉回收单元的杂质输入口。

4.如权利要求1所述的多晶硅生产废料全回收系统，其特征在于：

所述硅粉回收单元包括硅粉洗涤罐，该硅粉洗涤罐的杂质输入口、洗涤剂输入口分别连接所述萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口、所述洗涤剂罐的输出口，该硅粉洗涤罐的输出口连接硅粉过滤器的输入口，该硅粉过滤器的液相输出口连接含金属氯化物的洗涤剂罐的输入口，该含金属氯化物的洗涤剂罐的输出口分两路，一路经由一个回流开关阀连接该硅粉洗涤罐的洗涤剂输入口，另一路经由一个输送开关阀连接所述金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，该硅粉过滤器的固相输出口经由干燥器连接硅粉产品输出罐的输入口。

5.如权利要求1所述的多晶硅生产废料全回收系统，其特征在于：

所述金属氯化物回收单元包括萃取剂洗涤罐，该萃取剂洗涤罐的洗涤剂输入口、含金属氯化物的萃取剂输入口分别连接所述洗涤剂罐的输出口、所述萃取剂回流单元的输出口，该萃取剂洗涤罐的输出口连接分离器的输入口，该分离器的上层输出口、下层输出口分别连接浓缩蒸发器的输入口、脱除金属氯化物的萃取剂罐的输入口，该脱除金属氯化物的萃取剂罐的输出口连接蒸发器的输入口，该蒸发器的洗涤剂输出口、萃取剂输出口分别连接一个冷凝器的输入口、所述萃取剂回收罐的输入口，该浓缩蒸发器的输入口连接所述硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口，该浓缩蒸发器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、结晶器的输入口，该结晶器的洗涤剂输出口、金属氯化物输出口分别连接该冷凝器的输入口、金属氯化物产品输出罐的输入口，该冷凝器的输出口连接所述洗涤剂罐的输入口。