[实用新型]一种新型带调压结构的真空挡板阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，尤其是涉及一种新型带调压结构的真空挡板阀。

背景技术

随着科学技术的发展，对真空系统的要求越来越高，这也意味着对包括挡板阀在内的真空零部件的要求越来越高。真空技术和真空零部件关键技术不仅仅是可靠性，还在于他们的智能化和可控性。

真空系统往往需要洁净环境，同时避免气流的干扰和扰动。而传统结构的真空挡板阀在真空系统中在开启或放气的时候由于不可控，会引起气流大的扰动，会引起粉尘等污染。传统的解决方案，只能在放气的挡板阀前端加装调节阀，会增加成本和降低系统可靠性。而在抽气端的应用没有更好的办法。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简单、安装维修方便、抗干扰能力及可靠性强、可调节压力的一种新型带调压结构的真空挡板阀。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种新型带调压结构的真空挡板阀，其特征在于：所述带调压结构的真空挡板阀的挡板下端设有调压结构，所述调压结构包括柱状的尾部、环形凸出部以及杆状的头部，所述调压结构柱状的尾部设有若干渐变形型沟槽或非渐变型沟槽。

所述渐变型沟槽的截面积形状呈圆形或圆弧形或三角形或方形或倒三角形。

所述非渐变型沟槽中至少有一条非渐变型沟槽的长度小于调压结构柱状的尾部的高度，利用非渐变型沟槽的长短不同来改变接触的沟槽的数量达到调压目的。

所述渐变形型沟槽的长度等于调压结构柱状的尾部的高度。

所述非渐变型沟槽的截面积形状呈圆形或圆弧形或三角形或方形或倒三角形。

真空挡板阀在打开或关闭阀门时，由于渐变形型沟槽或非渐变型沟槽的存在，可以使气流通过的面积达到可控的渐变过程达到调压的目的，同时在完全关闭时与普通的高真空或真空挡板阀无异。

本实用新型的有益效果是结构简单合理，便于安装维修，可有效平和可控调节气流，效避真空突变引起扰动和气流带起粉尘污染系统的问题。

附图说明

图1为本实用新型安装于真空挡板阀的结构示意图。

图2为实施例1中调压结构示意图。

图3为实施例2中调压结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例1

如图1、2所示，一种新型带调压结构的真空挡板阀，包括真空挡板阀阀体，所述带调压结构的真空挡板阀1的挡板下端设有调压结构2，所述调压结构2包括柱状的尾部21、环形凸出部22以及杆状的头部23，所述调压结构2柱状的尾部21设有若干渐变形型沟槽3，本实施例将渐变形型沟槽3的数量设置为3条，真空挡板阀在打开或关闭阀门时，由于渐变形型沟槽或非渐变型沟槽的存在，可以使气流通过的面积达到可控的渐变过程达到调压的目的，同时在完全关闭时与普通的高真空或真空挡板阀无异。

所述渐变型沟槽3的截面积形状呈圆形或圆弧形或三角形或方形或倒三角形，本实施例呈圆弧形。

所述渐变形型沟槽3的长度等于调压结构柱状的尾部21的高度。

实施例2

如图3所示，本实施例中将调压结构2的沟槽设置为非渐变型沟槽3，其中一条非渐变型沟槽3a贯穿柱状的尾部21，一条非渐变型沟槽3b从柱状的尾部21开始设置并且短于非渐变型沟槽3a的长度，同理，可设置若干如此类型的非渐变型沟槽，利用非渐变型沟槽的长短不同来改变接触的沟槽的数量达到调压目的。本实施例的非渐变型沟槽3a、非渐变型沟槽3b、非渐变型沟槽3c为一组沟槽，调压结构2设置三组此类型的沟槽，其非渐变型沟槽数量达到9条。

所述非渐变型沟槽3的截面积形状呈圆形或圆弧形或三角形或方形或倒三角形，本实施例呈圆弧形。

本新型带调压结构的真空挡板阀已成功得应用于真空激光提拉炉的抽气口和充气口；在抽气口上有效得避免了开始抽气时气流太大带起粉尘的问题；在充气口上的应用减少了一个气流调节阀，同时结构更简单可靠。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。