[实用新型]一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣有效
申请号: | 201120187796.8 | 申请日: | 2011-06-07 |
公开(公告)号: | CN202072476U | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | 周英军 | 申请(专利权)人: | 周英军 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人: | 赵明辉 |
地址: | 753000 宁夏回族自治区石嘴*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 方硅芯 矩形 石墨 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅生产过程中还原炉中使用的石墨卡瓣,尤其是一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣。
背景技术
目前,多晶硅生产过程中还原炉用的硅芯普遍采用硅芯炉拉制的圆硅芯,连接圆硅芯与电极的石墨卡瓣上普遍开有截面为圆形的孔作为硅芯的夹持孔。但是,在实际生产过程中硅芯炉很难拉制出绝对圆的圆硅芯,这就造成圆硅芯与夹持孔之间的石墨卡瓣往往形成点接触,而非理想的面接触,从而导致硅芯与石墨卡瓣之间虚接,造成多晶硅生产中电耗增大、熔断器易熔断、减缓多晶硅沉积速度,加大了生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣,配合方形硅芯使用能够使硅芯和石墨卡瓣之间保持面接触,从而能减少电能消耗,有利于产品的生长,且沉积速度和一次转化率相对较高。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣,包括石墨卡瓣本体,在该石墨卡瓣本体上开有用于夹持硅芯的夹持孔,其特别之处在于,所述夹持孔的截面为矩形、三角形、菱形或梯形。
本实用新型的石墨卡瓣适合与截面为矩形的方硅芯配合使用,由于将石墨卡瓣上传统的截面为圆形的夹持孔改造成截面为矩形的夹持孔,配合对方硅芯的夹持,实现了石墨卡瓣与方硅芯的面接触,保证了石墨卡瓣与方硅芯四个面的最大面积接触,这样在实际生产过程中缩短了击穿时间,压二级电流的时间明显变短,产品能耗低于圆硅芯的能耗,成品率、沉积速度和一次转化率相对较高,从而提高了多晶硅的生产效率。
附图说明
附图1为本实用新型的结构示意图;
具体实施方式
下面结合附图来对本实用新型做进一步详细的说明:
如图1、2所示,一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣,包括石墨卡瓣本体2,在该石墨卡瓣本体2上开有用于夹持硅芯的夹持孔1,夹持孔1的截面为矩形,当采用截面为矩形的方硅芯时,两者可以很好的实现面接触,即使方硅芯加工的形变略有偏差影响也不大。
当然夹持孔1的截面也可以为三角形、菱形或梯形,此时需要与截面为三角形或梯形的硅芯配合使用。
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