[实用新型]化学机械研磨设备

权利要求书

1.一种化学机械研磨设备，包括研磨头和位于研磨头上方的研磨头带动装置，其特征在于，所述研磨头上方固定设置第一磁体，所述研磨头带动装置设置第二磁体，所述第一磁体与所述第二磁体位置相对且磁性相反。

2.如权利要求1所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述第一磁体的形状为圆柱形，所述第二磁体的形状为圆环形，所述第二磁体的内径大于所述第一磁体的直径。

3.如权利要求1所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述第一磁体与所述第二磁体的形状均为平板形，所述第一磁体与所述第二磁体正对。

4.如权利要求1所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述第一磁体为永磁体，所述第二磁体为电磁体，所述电磁体在通电后所带磁性与所述永磁体的磁性相反。

5.如权利要求1所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述第一磁体与第二磁体均为电磁体，通电后所述第一磁体与所述第二磁体的磁性相反。

6.如权利要求4或5所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述电磁体包括铁芯和围绕所述铁芯的线圈，所述线圈由外部电源供电。

7.如权利要求1至5中任意一项所述的化学机械研磨设备，其特征在于，所述研磨头带动装置还包括外罩，设置于所述外罩中的转动马达、转动杆和带动平台，所述转动马达通过转动杆与带动平台固定连接，所述第二磁体设置于所述带动平台下。