[实用新型]一种f-theta系统无效

申请号：	201120192532.1	申请日：	2011-06-09
公开（公告）号：	CN202102167U	公开（公告）日：	2012-01-04
发明（设计）人：	张彭舜;赵娟宁;董晓娜;李红光	申请（专利权）人：	中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号：	G02B13/18	分类号：	G02B13/18;G02B13/14
代理公司：	西安智邦专利商标代理有限公司 61211	代理人：	徐平
地址：	710119 陕西省西***	国省代码：	陕西;61
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摘要：
搜索关键词：	一种 theta 系统
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【权利要求书】：

1.一种f-theta系统，其特征在于：是序列式透射系统，包括位于同一光轴上依次设置的前置光阑、第一QK3正透镜、BAK1负透镜、第一BAF6负透镜、K9负透镜、第二QK3正透镜、第二BAF6负透镜和第三QK3正透镜。

2.根据权利要求1所述的f-theta系统，其特征在于：设上述依次设置方向是从左至右的方向，则前置光阑距第一QK3正透镜左顶点1mm，前置光阑的半口径为1.8813mm。

3.根据权利要求2所述的f-theta系统，其特征在于：所述第一QK3正透镜、BAK1负透镜、第一BAF6负透镜、K9负透镜、第二QK3正透镜、第二BAF6负透镜和第三QK3正透镜的焦距依次为9-11mm、15-17mm、(-5)-(-3)mm、(-7)-(-9)mm、6-8mm、(-13)-(-14)mm、13-15mm。

4.根据权利要求3所述的f-theta系统，其特征在于：按照前一透镜的右顶点至后一透镜的左顶点的距离量度，所述第一QK3正透镜、BAK1负透镜、第一BAF6负透镜、K9负透镜、第二QK3正透镜、第二BAF6负透镜、第三QK3正透镜的相邻间隔依次为0.1mm、0.5mm、1mm、1.1129mm、0.1mm、1.3205mm。

5.根据权利要求1至4任一所述的f-theta系统，其特征在于：所述第一QK3正透镜、BAK1负透镜、第一BAF6负透镜、K9负透镜、第二QK3正透镜、第二BAF6负透镜、第三QK3正透镜分别为双凸型、弯月型、双凹型、双凹形、双凸形、弯月形、双凸形。

6.根据权利要求5所述的f-theta系统，其特征在于：

第一QK3正透镜的左右侧面曲率半径分别为6.87003mm、-12.23772mm，透镜厚度为1.5mm，半口径1.9946mm，焦距为10mm；

BAK1负透镜的左右面曲率半径分别为5.47503mm、11.69883，镜片厚度1.3mm，半口径1.86mm，焦距为15.95mm；

第一BAF6负透镜的左右面曲率半径分别为-8.8439mm、4mm，镜片厚度0.7mm，半口径1.5477mm，焦距为-4.34mm；

K9负透镜的左右面曲率半径分别为-5.8307mm、16.0084mm，镜片厚度0.7mm，半口径1.62mm，焦距为-7.8748mm；

第二QK3正透镜的左右面曲率半径分别为14.514mm、-4.7471mm，镜片厚度1.6mm，半口径2.0432mm，焦距为7.2876mm；

第二BAF6负透镜的左右面曲率半径分别为10.1271mm、4.3938mm，镜片厚度0.7mm，半口径2.1654mm，焦距为-13.1mm；

第三QK3正透镜的左右面曲率半径分别为5.5198mm、-23.3252mm，镜片厚度1.5mm，半口径2.3161mm，焦距为13.93mm。

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