[实用新型]复合衬底结构

权利要求书

1.一种复合衬底结构，其特征在于，包括由下至上依次设置的第一衬底层、不透明夹层以及第二衬底层；

所述不透明夹层与第一衬底层和第二衬底层结合为一体，且所述第一衬底层和第二衬底层的热膨胀系数相同；当所述第一衬底层被置于一加热元件上时，所述不透明夹层用于吸收该加热元件发出的热辐射，利用吸收的热量加热第一衬底层的内侧面和第二衬底层的内侧面，所述不透明夹层对所述第二衬底内侧面的加热能够使得所述第二衬底层的外侧面的温度满足外延材料的生长温度。

2.根据权利要求1所述的复合衬底结构，其特征在于，所述第一衬底层、不透明夹层和第二衬底层依次或同时结合为一体。

3.根据权利要求1所述的复合衬底结构，其特征在于，所述外延材料的材质为GaN。

4.根据权利要求1或2所述的复合衬底结构，其特征在于，所述第一衬底层或/和第二衬底层的直径范围为2英寸，厚度范围为20～190μm；或所述第一衬底层或/和第二衬底层的衬底直径为4英寸，厚度范围为20～260μm；或所述第一衬底层或/和第二衬底层的衬底直径为6英寸，厚度范围为20～460μm。

5.根据权利要求1所述的复合衬底结构，其特征在于，所述复合衬底结构的直径为2英寸，厚度范围为70～460μm；或，所述复合衬底结构直径为4英寸，厚度范围为110～660μm；或，所述复合衬底结构的直径为6英寸，厚度范围为190～1010μm。

6.根据权利要求1或2的复合衬底结构，其特征在于，所述不透明夹层的材质为石墨； 

所述复合衬底结构的直径为2英寸，厚度范围为80～450μm，所述第一衬底层或/和第二衬底层的厚度范围为30～180μm；所述复合衬底结构的直径为4英寸，厚度范围为120～650μm，所述第一衬底层或/和第二衬底层的厚度范围为30～250μm；或所述复合衬底结构的直径为6英寸，所述第一衬底层或/和第二衬底的厚度范围为30～450μm。

7.根据权利要求1或2所述的复合衬底结构，其特征在于，

所述不透明夹层的材质为硅；

所述复合衬底结构的直径为2英寸，厚度范围为80～450μm，所述第一衬底层或/和第二衬底层的厚度范围为30～180μm；所述复合衬底结构的直径为4英寸，厚度范围为120～650μm，所述第一衬底层或/和第二衬底层的厚度范围为30～250μm；或所述复合衬底结构的直径为6英寸，所述第一衬底层或/和第二衬底的厚度范围为30～450μm；

在所述外延材料形成后，所述不透明夹层和第二衬底层利用选择性腐蚀溶液与所述第一衬底层分离。