[实用新型]低杂散光双单色器光学系统

权利要求书

1.一种低杂散光双单色器光学系统，包括串接在一起的第一单单色器光学系统和第二单单色器光学系统，其特征在于，所述第一单单色器光学系统和/或第二单单色器光学系统中的光路形成交叉光路。

2.根据权利要求1所述的低杂散光双单色器光学系统，其特征在于，所述第一单单色器光学系统包括入射狭缝(S1)、第一准直物镜(34)、第一光栅(31)、第一成像物镜(35)和中间狭缝(S2)，所述第二单单色器光学系统包括所述中间狭缝(S2)、第二准直物镜(36)、第二光栅(32)、第二成像物镜(37)和出射狭缝(S3)；所述第一单单色器光学系统和所述第二单单色器光学系统共用所述中间狭缝(S2)，入射光束通过所述入射狭缝(S1)射入所述第一准直物镜(34)，经其准直后形成的平行光入射到所述第一光栅(31)进行衍射而形成一次衍射光束，该一次衍射光束中所需要的单色光经所述第一成像物镜(35)聚焦后，通过所述中间狭缝(S2)入射到所述第二准直物镜(36)，经所述第二准直物镜(36)准直后形成的平行光入射到所述第二光栅(32)上，在该第二光栅(32)再次进行衍射而形成二次衍射光束，该二次衍射光束经所述第二成像物镜(37)聚焦后，由所述出射狭缝(S3)输出；所述入射光束从所述入射狭缝(S1)到所述中间狭缝(S2)之间的光路形成所述交叉光路。

3.根据权利要求2所述的低杂散光双单色器光学系统，其特征在于，所述第一单单色器光学系统还包括一块用于改变从所述第一成像物镜(35)射出的光束方向的第一反射镜(38)，由所述第一反射镜(38)反射出的光束通过所述中间狭缝(S2)进入所述第二单单色器光学系统。

4.根据权利要求3所述的低杂散光双单色器光学系统，其特征在于，所述第二单单色器光学系统还包括一块用于接收由所述中间狭缝(S2)通过的光束的第二反射镜(39)，该第二反射镜(39)将所接收的光束反射至所述第二准直物镜(36)。

5.根据权利要求4所述的低杂散光双单色器光学系统，其特征在于，所述第一反射镜(38)设置在所述第二反射镜(39)的正上方。

6.根据权利要求1-5之任一项所述的低杂散光双单色器光学系统，其特征在于，所述的光学系统还包括用于改变光路方向的至少一块反射镜和/或折射镜。