[实用新型]一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统有效
| 申请号： | 201120199997.X | 申请日： | 2011-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202116322U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李毅光;孙以群 | 申请（专利权）人： | 北京德高洁清洁设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 集中 模块化 干燥 净化系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，其特征在于，包括依次配合设置在空气入口与多晶硅还原炉的进风口之间的初效过滤器、鼓风机、风机静压箱、亚高效过滤器、高效过滤器与空气换热器。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，其特征在于，在所述空气换热器上设有热介质进口与热介质出口。
3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统，其特征在于，在所述多晶硅还原炉上设有出风口。
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