[实用新型]磁悬浮泵有效
| 申请号： | 201120200041.7 | 申请日： | 2011-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202091261U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 余文军;王怀锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/58 | 分类号： | F04D29/58 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁悬浮泵，包括马达和研磨液腔体，所述研磨液腔体内设有叶轮，所述马达带动所述叶轮转动，其特征在于，所述马达和研磨液腔体之间还设有冷却水腔体。
2.根据权利要求1所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液腔体内还设有转子磁铁，所述叶轮设于所述转子磁铁的外周侧，所述马达带动所述转子磁铁转动，所述转子磁铁带动所述叶轮转动。
3.根据权利要求1所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液腔体还设有研磨液进口和研磨液出口。
4.根据权利要求3所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液进口设于所述研磨液腔体的上方，所述研磨液出口设于所述研磨液腔体的侧面。
5.根据权利要求4所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述研磨液腔体经研磨液出口和研磨装置相连，且所述研磨液腔体和研磨装置之间设有过滤器。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的磁悬浮泵，其特征在于，所述冷却水腔体包括冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口和冷却水出口分别设于所述冷却水腔体的两侧。
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