[实用新型]一种金属薄膜试样的自动研磨装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种试样的制备装置，特别涉及一种金属薄膜试样的自动研磨装置，该装置及研磨方法也同样适用于金属薄板试样的研磨及抛光。

背景技术

透射电镜是通过高速电子透过试样薄区穿透成像的，物质对电子的散射很强，电子在物质中的穿透深度有限，用作透射电镜观察的试样要求厚度在500埃至2000埃，表面清洁，具有面积大且无人为缺陷的薄区(电子束透明区)。薄膜试样制作的成功与否直接关系到透射电镜的观察结果。制作理想的透射电镜试样要经过多道工序的减薄，其中机械预减薄是制样的最基础最关键的步骤。它要求将试样从0.5mm左右研磨至30μm左右。

目前常用的机械预减薄方法是将切割好的薄片用胶粘在金属块或橡皮上，手持金属块或橡皮在砂纸上研磨。研磨试样的力度大小及着力点是由手上的力度和用力点决定的。由于试样很薄，人为的用力不均会直接导致试样磨偏，使试样薄厚不均，试样产生的干扰层也不均，对下一步的减薄造成影响。用粘贴的方法固定试样主要存在两个问题，第一，试样安装和取下困难。安装的试样时要等上几小时甚至是20小时才能把试样粘牢。取下试样时需要用有机溶剂将胶溶解，试样表面会有残留的胶，清理困难。第二，由于装卸时间长，试样在研磨过程中无法随时取下试样测量厚度，因此厚度很难控制。如果研磨后取下试样，测量试样厚度未达到要求，还需重新粘贴试样，就会使制样时间延长。

目前透射电镜金属薄膜试样的机械预减薄方法均无法避免人为因素的影响，不能达到制作理想薄膜试样的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于为制作透射电镜金属薄膜试样提供一种自动研磨装置，该装置装卸试样方便、快捷，能自动研磨试样，可消除人为因素在机械减薄过程中对制样效果的影响。

本实用新型的目的是这样实现的，它包括：载物台和研磨装置，载物台包括底座、滑道、滑块、支柱；载物台下方是底座，底座与滑道连接为一体，滑块连接在滑道内，滑块上安有支柱，研磨装置包括磨块和连杆，磨块与连杆固定，连杆套在两端的支柱上，电机连接在一侧的滑道上。

本实用新型的具体结构有，底座上装有耐磨层，由定位销固定，底座与耐磨层的中心位置有一对应的凹槽，内置试样防滑垫，试样放置在防滑垫上，防滑垫与耐磨层有30μm的高度差，可防止试样滑出防滑垫。

本实用新型的结构还有，砂纸粘贴在磨块底部，磨块中心有空腔，空腔中装有砝码，砝码重量可根据需要调换。

本实用新型连杆的两侧圆柱套与支柱紧配合，圆柱套带动磨块可沿支柱上下滑动，用以放、取试样及调整磨块与试样的距离。

本实用新型采用电机驱动滑块，在滑道上运动，从而使支柱带动磨块往复运动，实现对试样的研磨。

本实用新型的优点及效果在于：

1、磨块与砝码的重量可对试样施加向下的研磨压力，与原手动研磨相比施力均匀，试样不会磨偏，制样成功率高。2、滑块在电机的驱动下往复运动，带动磨块往复运动研磨试样，操作方便，制样效率高，与原手动抛光相比省时、省力。3、磨块与连杆连接在一起，可沿支柱上下移动，只需用手提起磨块就可将试样取出，试样装卸方便，可随时取下试样测量试样厚度。4、本实用新型在磨样过程中无人为因素干扰，制样条件稳定，制样效果的可重复性高。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的装置的立体图；

图3是耐磨层上的定位销分布图。

图中：1滑道、2滑块、3支柱、4连杆、5电机、6磨块、7砝码、8砂纸、9防滑垫、10底座、11耐磨层、12定位销。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细说明。

如图1、2所示，载物台和研磨装置，载物台包括底座10、滑道1、滑块2、支柱3；研磨装置包括磨块6和连杆4，载物台下方是底座10，底座10与滑道1连接为一体，滑块2连接在滑道1内，滑块2上安有支柱3，磨块2与连杆4固定，连杆4套在两端的支柱3上，电机5连接在一侧的滑道1上。

如图3所示，底座10上表面与耐磨层11用定位销12连接固定其固定方式不限定，能固定即可，如图1所示，底座10与耐磨层11的中心位置有一对应的凹槽，内置试样防滑垫9，滑垫9可以是磁铁、带细纹的硬质橡胶等，试样放置在防滑垫9上，防滑垫9与耐磨层11之间有30μm的高度差可防止试样滑出防滑垫9。

如图1、2所示，研磨装置由磨块6和连杆2组成，两侧连杆4要对称安装在磨块6的两侧，连杆4的一端为圆柱环，套在支柱3上，将支柱3与磨块6连接在一起，用电机5带动一侧滑块2在滑道1上左右往复滑动，即可带动整个研磨装置对试样进行左右滑动研磨，使用背面带有粘胶的砂纸，砂纸粘贴在磨块6底部，磨块6中心有空腔，空腔中装有砝码7，研磨力度的大小通过放置磨块中心空腔内的砝码7进行调节，研磨时根据制样要求更换砂纸8的型号，粘于磨块6底部。在磨样过程中可随时停止电机5，提起磨块6取出试样测量试样厚度。