[实用新型]洗涤加湿网

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种洗涤加湿网，特别是关于一种用于水洗系统过滤空气的洗涤加湿网。 

背景技术

现在，半导体制造或化学制品厂的生产工艺相当繁杂，工艺中所使用的化学物质种类也相当多，而这些化学物质或溶剂的使用是半导体生产的主要空气污染源，也因此使得半导体制造所产生的空气污染呈现量少但种类繁多的特性。 

另外，晶圆及集成电路制造过程中几近所有步骤皆使用各式各样的酸碱物质、有机溶剂及有毒性气体，而各种物质经过反应后又形成种类颇为复杂的产物，各工艺不同使用的化学物质也不相同，故所有工艺几乎都可能是空气的污染源，且皆为连续排放，并依污染物特性予以归类，可将晶圆及集成电路工艺所产生的空气污染区分为：氧化扩散及化学蒸着沉积工艺中所使用具有毒性、可燃性的气体以及反应后所生成的气体，蚀刻及清洗工艺中所产生的酸碱气体，黄光室工艺中所产生的有机溶剂气体；至于晶圆切割成品片，再经过一连串的构装作业，可能空气污染源为包括有电镀区产生的酸碱废气、浸锡区产生的锡煤烟，以及清洗过程产生的酸气与有机溶剂蒸汽等几类，在这些工艺中皆会产生含有大量具有毒性的总有机化合物(TVOCs)的废气，为避免废气对环境造成污染与公害，必须将该废气中的有害物质予以净化去除后，才能排放至外界大气中。 

而目前所知的处理半导体和TVOCs废气的技术主要分为高温焚化技术、活性碳吸附技术及湿式洗涤技术等，其中高温焚烧方式需大量能量 及会产生大量二氧化碳；活性炭吸附技术则随时间使用效率衰减；湿式洗涤技术为目前主流方式。 

目前洗涤网由数个网丝以一定方式交错构成网状过滤片，采用立体编织方式构成网状过滤片，通过喷雾的方式将水喷附于渔网面，利用水张力产生水膜，通过水膜将TVOCs废气中杂质及有害气体滤除。 

其许多编织转折点会因技术所限，肉眼即明显可见不均匀的大小孔洞，并因长时间使用或安装时的推挤拉扯，将更为显著，其所影响的不仅是过滤工序效率问题，更为一种环安因素。由此可见，现有的过滤片所衍生的问题及不足，实非一良善的设计，而亟待加以改良。 

本实用新型创作人鉴于上述方式所衍生的各项问题及不足，乃亟思加以改良创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本件洗涤加湿网的结构改良。 

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提升湿式洗涤系统过滤网的洗涤效率，降低凹陷或阻塞因素的发生，提升空气过滤效率。 

次要目的在于稳定过滤网匀称孔洞的数量，精确计算空气过滤压力，提升过滤网截面积，避免现有的过滤网工艺不利因素。 

又一目的在于降低排气耗材成本，减省滤片清洁次数，提升水膜效率，降低空气阻力。 

本实用新型可达成上述创作目的的结构在于一种洗涤加湿网，其主要设有一基材，该基材是数个具有锥面及锥顶的罩体连续组合，其包含设于锥顶的第一接合部，以及设于各锥脚的第二接合部。 

较佳的是，罩体连续组合是以锥面相贴附，上下对向交错接续组合各罩体的第一接合部与第二接合部。 

较佳的是，罩体的锥面设有一脊条，设置于该锥顶与各锥面的二锥 脚连线的最近距离，数个肋条与该脊条垂直交错，平行布于各锥面。 

较佳的是，罩体的锥面设有至少一脊条，设置于该锥顶与二锥脚连线的数均分点，数个肋条与该脊条交错，平行布于各锥面。 

较佳的是，罩体是一四角椎体。 

较佳的是，罩体是塑胶射出一体成形的。 

本实用新型有益效果在于：经由本实用新型所采用的技术手段，使成本较低，并且不易发生堵塞，加大滤净截面积，降低进风风阻，减少耗材易替次数，提升产品寿命，增进过滤质量。 

附图说明

图1是本实用新型罩体外观立体示意图。 

图2是本实用新型罩体组合示意图1。 

图3是本实用新型罩体组合示意图2。 

图4是本实用新型罩体组合示意图的侧视图1。 

图5是本实用新型罩体组合示意图的侧视图2。 

图6是本实用新型框组示意图1。 

图7是本实用新型框组示意图2。 

图8是本实用新型过滤示意图。 

图9是本实用新型过滤局部放大示意图1。 

图10是本实用新型过滤局部放大示意图2。 

图11是现有的产品示意图。 

主要元件符号说明： 

1   基材        11  锥顶