[实用新型]晶片抛光机无效
| 申请号： | 201120208315.7 | 申请日： | 2011-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202114607U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 吴康;殷国祥;王绍鸿;王鸿伟;黄国洪;胡文宏;孟进有 | 申请（专利权）人： | 云南蓝晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 653101 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 抛光机 | ||
【权利要求书】：
1.晶片抛光机，在其机台(1)的台面中部安装有下转盘(2)，下转盘(2)的下部安装有转轴(6)，机台(1)内安装有电机(8)，电机(8)用皮带(7)连接转轴(6)，在下转盘(2)上包有一层打磨布(3)，下转盘(2)中部上方安装有出液管(5)，其特征在于：在机台(1)上安装有四根支柱(9)，支柱(9)的上端安装有固定架(13)，固定架(13)上固定有气缸(12)，气缸(12)的上部连接高压气阀(14)，气缸(12)的下部活动安装有晶片固定转盘(11)，晶片固定转盘(11)下表面有多个凹孔(10)，凹孔(10)内固定有晶片(4)，晶片(4)的下表面凸出在凹孔(10)的下表面外。
2.如权利要求1所述的晶片抛光机，其特征在于：安装在固定架(13)上的气缸(12)不少于一组，每组气缸(12)的下端分别活动安装一个晶片固定转盘(11)。
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