[实用新型]盘形合金钢工件辉光离子氮化装置

权利要求书

1.盘形合金钢工件辉光离子氮化装置，包括位于底座（16）上的真空罩（11）和位于真空罩内的阴极底座（6），阴极底座上的阴极支柱（5）支承盘形工件（4），真空罩（11）构成的阳极与阳极接入口连接，阴极底座（6）与阴极接入口（10）连接，其特征在于在阴极底座（6）的环周上均布有若干片状辅助阴极（3），若干片状辅助阴极（3）包围盘形工件，其高度大于阴极支柱（5）的高度与盘形工件（4）的厚度之和。

2.根据权利要求1所述的辉光离子氮化装置，其特征在于或者阴极底座（6）的周边与环形辅助阴极（3）连接，辅助阴极（3）为L形，其水平面与阴极底座（6）连接，所有的辅助阴极的竖向面等距、等高，盘形工件（4）与真空罩（11）内壁之间有热反射壁（2）。

3.根据权利要求1所述的辉光离子氮化装置，其特征在于若干辅助阴极（3）所在的圆周直径大于1100mm。

4.根据权利要求1所述的辉光离子氮化装置，其特征在于片状辅助阴极的竖向面高度为300—400mm，宽度为50—60mm，间距为50—60mm。