[实用新型]一种镀膜机真空室有效
申请号: | 201120211171.0 | 申请日: | 2011-06-20 |
公开(公告)号: | CN202181339U | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 廖荣新;黄进高;禤瑞彬 | 申请(专利权)人: | 肇庆市前沿真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 526060 广东省肇庆市端州区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 真空 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜设备,特别是一种镀膜机真空室的结构。
背景技术
真空镀膜设备系列的一个设备是真空室。在真空室里,既要安放预备镀膜的工件,又要布放一些真空设备元件。当然,真空室本身还是要抽真空的。为达到较高的真空度,需要消耗大量能源,电耗便成为真空镀膜生产成本中的重要组成部分。然而,对于真空室室体的改进,研究得并不充分,这里面有一个技术偏见的原因,以为室体改进的空间不大,意义有限。事实上,研发无极限!在真空室改进方面仍然是有作为的。例如,专利号98210521.5的“真空镀膜室的薄壳结构”;还有,申请号200520047952.5名称为“真空包装机真空室盖体”(申请日2005-12-16,公告日2007-03-14,公告号2878206)的实用新型专利,虽然主体是包装机,但仍涉及真空室的结构。它的盖体为深拉成型长方拱形,其表面为拱形凹凸环状加强结构,底部为密封平面。其优点是以与盖体融为一体的多道凹凸环状造型,代替在盖体内另外焊上的加强筋。显然,这是针对真空室的室体强度而设计的方案。现有的真空室室体里,除了安装有传送工件的辊轴元件外,往往还留有较多的不为组件所占据的空间。而针对降低能耗,节约能源的室体设计,目前尚未见报导。
实用新型内容
本实用新型的目的在于避免上述现有技术的不足之处,而提供一种结构简单,制造容易,能节省真空发生的能耗的一种镀膜机真空室。
本实用新型的目的可通过如下的措施来达到:
一种镀膜机真空室,是由包括盖板和底板的各块面板组成的一个密封的真空室,在该真空室里置有包括真空锁组件和转动辊轴的组件,其特征在于,所述的各块面板,包括小盖板的平板和大盖板的平板,以及大盖板与小盖板之间的过渡侧面,由此形成一个阶梯形的整体真空室。
在上述的真空室里面,还固定有若干个底填充管、若干个顶填充管、和位于小盖板之下的上填充管,其中,底填充管位于真空室的底板上,顶填充管位于大盖板之下;上述的每个填充管均是完全密封的。
上述的顶填充管,焊接固定于大盖板的下面;上述的上填充管,焊接固定于小盖板的下面。
本实用新型的镀膜真空室,具有如下的优点:
1.大为减少真空室内空旷的空间。由于固定在真空室内的各种填充管,均是完全密封的,空气不会进出于填充管内外。填充管占据了真空室内的多余空间,也就减少了室内需要抽走的空气。与现有技术的真空室比较,抽气空间减少了50%,相应地抽气负荷也就减少了50%,大大节省了抽真空的能耗,从而降低生产成本。
2.结构简单,加工容易,便于实施。构成本实用新型真空室的各块面板,仍然是平板的,它不需要设计成凹凸式的盖板,这样,便于加工,因应真空锁组件的体积较大,盖板需高些,而主室则可降低,最大限度地减少室内空旷的无用空间。
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的非限定性的叙述。
附图说明
图1是本实用新型真空室的结构示意图;
图2是上述真空室(去除盖板后)的俯视示意图;
图3是上述真空室(去除盖板后)的剖视图;
图1-0是现有技术中的一种真空室的结构示意图;
图2-0是上述现有技术真空室(去除盖板后)的俯视示意图;
图3-0是上述现有技术真空室(去除盖板后)的剖视图;
各图之中,1是真空室,2是真空锁组件,3是小盖板,4是大盖板,5是转动辊轴,6是底填充管。7是顶填充管,8是上填充管。
具体实施方式
如图1、图2、图3所示,由若干块平板作为面板,组接焊成一个本实用新型的真空室1,该真空室与外接管接触的部位用良好的密封件进行密封。组成该真空室1的上述各块面板,除了底板和四周的侧板外,还包括有平板的小盖板3和平板的大盖板4,以及大盖板与小盖板之间的过渡侧面,由此形成一个阶梯形的整体真空室;其中,位于真空锁组件2之上的小盖板3,较之大盖板4高出一个阶梯。这样,与那种由完全是一个平面的上盖板所构成的真空室比较,首先,本实用新型真空室在大盖板之下、省略了一大块空间。为进一步减少室内空旷的空间,在传送工件的各个转动辊轴5之间的底板上,经焊接固定上一个个的底填充管6,又在真空室内大盖板4的下面,将一个个的顶填充管7,焊接并固定于大盖板4之下,再在小盖板3下面,焊接并固定上一个上填充管8。上述的底填充管6、顶填充管7和上填充管8,均需进行完全密封的焊接,并经过试漏,没有气体渗漏为准。经过这种阶梯形真空室上盖的设计、和安装填充管的处理,本实用新型真空室的抽气空间可减少一半以上,它适用于多种镀膜机的真空室设计上。
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