[实用新型]一种压力传感器有效
申请号: | 201120211800.X | 申请日: | 2011-06-21 |
公开(公告)号: | CN202133491U | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 贾庆锋 | 申请(专利权)人: | 江苏恩泰传感器有限公司 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 224051*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,包括底座,所述底座上覆盖有膜片,其特征在于,还包括硅酸盐薄片以及硅应变计,所述硅酸盐薄片与所述膜片粘连,所述硅应变计部分浸入部分外露于所述硅酸盐薄片,并且所述硅应变计与所述膜片绝缘。
2.如权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述硅酸盐薄片的厚度范围为50微米至100微米。
3.如权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述硅酸盐薄片的形状为长方体形。
4.如权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述硅酸盐薄片的数量为多个,每个所述硅酸盐薄片内设置一个所述硅应变计。
5.如权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述硅酸盐薄片的数量为多个,每个所述硅酸盐薄片内设置多个相互独立的所述硅应变计。
6.如权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述膜片的表面具有磨砂。
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