[实用新型]一种42对棒的新型多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201120218309.X | 申请日： | 2011-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN202208641U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王晓静;黄哲庆;段连;刘春江;袁希钢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 42 新型 多晶 还原 | ||
【权利要求书】：
1.一种42对棒的新型多晶硅还原炉，其特征是还原炉底盘规则的分布着42对电极、100个通气口和1个中心切换用通气口，还原炉顶盘规则分布100个通气口、1个中心切换用通气口；还原炉底盘上电极分为5层，其中内部的四层按正六边形排布，从中心向外依次按3对、6对、9对、12对、12对规则分布，内层相邻的三根电极以正三角形排布；每一根电极的周围均匀排布三个通气口，三个通气口位于该电极为中心的成正三角形顶点处。
2.如权利要求1所述的还原炉，其特征是相邻两两电极的间距为200～300mm，还原炉底盘和顶盘的直径为2700～4000mm。
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