[实用新型]真空设备的感测装置

权利要求书

1.一种真空设备的感测装置，其设置在该真空设备的一个腔体上，该腔体容置一块基板，并具有一个第一腔壁，以及一个相反于该第一腔壁的第二腔壁，该真空设备的感测装置包含一个接收器，以及一个发射器；其特征在于：

该接收器是设置在该第一腔壁的一个外壁面上，该发射器是设置在该第二腔壁的一个外壁面上，且发出至少一束直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。

2.根据权利要求1所述的真空设备的感测装置，其特征在于：该光线与该基板的该板面的夾角是介于3°～4°间。

3.根据权利要求1或2所述的真空设备的感测装置，其特征在于：该腔体的第二腔壁具有一个入射开孔，该发射器具有一个设置在该腔体的第二腔壁且环绕该入射开孔的固定环座、一个贴抵该入射开孔的一端且嵌置在该固定环座中的入射窗玻璃、一个设置在该固定环座的远离该腔体的一个端面且与该入射窗玻璃相间隔的定位座，以及至少一个设置在该定位座上的发射件，该固定环座、该入射窗玻璃与该定位座相配合界定出一个入射空间，该发射件发射出该光线，该光线依序穿透经该入射空间、该入射窗玻璃、该入射开孔而进入到该腔体内。

4.根据权利要求3所述的真空设备的感测装置，其特征在于：该腔体的第一腔壁具有一个出射开孔，该接收器具有一个设置在该腔体的第一腔壁且环绕该出射开孔的定位环座、一个贴抵该出射开孔的一端且嵌置在该定位环座中的出射窗玻璃、一个设置在该定位环座的远离该腔体的一个端面且与该出射窗玻璃相间隔的固定座，以及至少一个设置在该固定座上的接收件，该定位环座、该出射窗玻璃与该固定座相配合界定出一个出射空间，进入该腔体中的该光线依序穿透经该出射开孔、该出射窗玻璃、该出射空间以抵达该接收件。