[实用新型]一种玻璃镀膜工艺室有效
| 申请号： | 201120219921.9 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN202131364U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃镀膜工艺室，包括镀膜室和玻璃传动机构，玻璃传动机构设于镀膜室下方，其特征在于，镀膜室内设有磁控靶组件，镀膜室上方设有抽真空用的分子泵。
2.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述镀膜室内，磁控靶组件的上方设有气流罩。
3.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述磁控靶组件包括两个磁控靶，两个磁控靶在玻璃输送方向上并排设置。
4.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述镀膜室的侧壁下部设有挡板，镀膜室内，挡板设置的高度低于磁控靶组件。
5.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述玻璃传动机构包括传动带和多个传动轮，多个传动轮设于传动带下方；玻璃镀膜工艺进行时，玻璃工件设于传动带上方并穿过镀膜室底部。
6.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述分子泵外周设有盖罩。
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