[实用新型]在线氢气纯度分析仪有效
申请号: | 201120220449.0 | 申请日: | 2011-06-27 |
公开(公告)号: | CN202133645U | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 王茂祥 | 申请(专利权)人: | 常州爱特科技有限公司 |
主分类号: | G01N30/66 | 分类号: | G01N30/66 |
代理公司: | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人: | 沈毅 |
地址: | 213000 江苏省常州市钟楼经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 在线 氢气 纯度 分析 | ||
【权利要求书】:
1.一种在线氢气纯度分析仪,包括进气口、流量调节阀、纯度传感器和出气口,进气管路的出口端设有进气口,中间设有流量调节阀,进气管路末端设有出气口,纯度传感器置于出气口上方,其特征是,纯度传感器为热导池H2气体检测器。
2.根据权利要求1所述的在线氢气纯度分析仪,其特征是,该分析仪采用wince操作系统。
3.根据权利要求1所述的在线氢气纯度分析仪,其特征是,流量调节阀与纯度传感器之间设有流量感应器。
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