[实用新型]一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴有效
申请号: | 201120225838.2 | 申请日: | 2011-06-29 |
公开(公告)号: | CN202275804U | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 郑建博 | 申请(专利权)人: | 彩虹(佛山)平板显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;B05B13/02;B08B3/02 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 贾玉健 |
地址: | 528000 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制造 液晶 oled 面板 湿刻机 水洗 喷嘴 | ||
技术领域
本实用新型属于OLED装备技术领域,具体涉及一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴。
背景技术
目前用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴位置排列采用比较广泛的工艺是将喷嘴等距排列,而近几年的湿刻机大部分改为倾斜搬送基板后,因为下部水洗置换相对上部充分而造成水洗不均匀,使得液晶及OLED面板在生产过程中出现水洗不匀不良的缺陷。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴,通过在上喷杆和下喷杆上设置喷嘴组,且喷嘴组上部的喷嘴排列的密度大于在下部的喷嘴排列的密度,这样的结构使得液晶及OLED面板就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀,减少此类水洗不匀不良的缺陷,提高液晶及OLED面板的良品率。
为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴,包括在对应的湿刻机水洗槽内待洗的液晶及OLED面板1的运行方向的上方和下方,分别设置与该运行方向平行的上喷杆2和下喷杆3,在上喷杆2和下喷杆3上且面向待洗的液晶及OLED面板1的垂直位置分别设置有喷嘴组,所述的喷嘴组内在上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度。
通过在上喷杆2和下喷杆3上设置喷嘴组,且喷嘴组上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度,这样的结构使得液晶及OLED面板1就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀,减少此类水洗不匀不良的缺陷,提高液晶及OLED面板的良品率。
附图说明
附图为本实用新型的用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴的工作原理示意图,其中喷嘴上连接的三角形表示从喷嘴喷洒出水的示意方向形状。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更详细的说明。
如附图所示,用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴,包括在对应的湿刻机水洗槽内待洗的液晶及OLED面板1的运行方向的上方和下方,分别设置与该运行方向平行的上喷杆2和下喷杆3,在上喷杆2和下喷杆3上且面向待洗的液晶及OLED面板1的垂直位置分别设置有喷嘴组,所述的喷嘴组内在上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度。
本实用新型的工作原理为当待洗的液晶及OLED面板1沿着对应的运行方向进入湿刻机水洗槽内时,启动上喷杆2和下喷杆3上的喷嘴组内的所有喷嘴4,喷射出垂直于液晶及OLED面板1的水柱来对其进行清洗。
通过在上喷杆2和下喷杆3上设置喷嘴组,且喷嘴组上部的喷嘴4排列的密度大于在下部的喷嘴4排列的密度,这样的结构使得液晶及OLED面板1就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀,减少此类水洗不匀不良的缺陷,提高液晶及OLED面板的良品率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造