[实用新型]降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台

权利要求书

1.一种降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台，其特征在于：具有坩埚本体，坩埚本体的四面侧板上分别安装有夹具挡板，所述的夹具挡板左、右两端均安装有挂钩夹具，所述的挂钩夹具具有第一支架、第二支架、第三支架、挂钩，第一支架固定安装在夹具挡板上，第二支架与第一支架铰接连接，第三支架与第二支架铰接连接，第三支架上固定有悬置在坩埚本体空腔内的挂钩，夹具挡板左、右两端的挂钩夹具的挂钩之间连接有标线。

2.根据权利要求1所述的降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台，其特征在于：所述的挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件，圆柱形连接部件开有中心通孔，圆柱形连接部件与第三支架固定连接，所述的柱形悬挂部件开有可连接标线的上、下两个通孔。

3.根据权利要求1所述的降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台，其特征在于：所述的挂钩具有圆柱形连接部件与悬挂部件，圆柱形连接部件开有中心通孔，圆柱形连接部件与第三支架固定连接，所述的悬挂部件包括与圆柱形连接部件固定连接的柱形连接部分、与柱形连接部分连接的圆柱形悬挂部分，圆柱形悬挂部分开有可连接标线的中心通孔。

4.根据权利要求1所述的降低氮化硅粉单耗的坩埚加热旋转台，其特征在于：所述的挂钩具有圆柱形连接部件与柱形悬挂部件，圆柱形连接部件开有中心通孔，圆柱形连接部件与第三支架固定连接，所述的柱形悬挂部件开有横向孔与纵向孔，横向孔与纵向孔相通，纵向孔与柱形悬挂部件的底部相通。