[实用新型]多晶硅还原炉电极棒分布结构有效
| 申请号： | 201120229699.0 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN202131105U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 郑飞龙;程佳彪;许国文;茅陆荣 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 电极 分布 结构 | ||
【权利要求书】：
1.多晶硅还原炉的电极棒分布结构，其特征在于，包括：
底盘，
所述底盘上设有进气口、电极座，所述电极座上安装有电极体，所述电极体上连接多晶硅棒，
其特征在于：所述电极座在底盘上呈正多边形分布。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的电极棒分布结构，其特征在于：所述电极座与其相邻电极座的间距为200mm~400mm。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的电极棒分布结构，其特征在于：所述多晶硅棒通过顶部横梁连接，形成一对多晶硅棒，所述一对多晶硅棒之间的间距为200mm~400mm。
4.根据权利要求2或3所述的多晶硅还原炉的电极棒分布结构，其特征在于：所述电极座与其相邻电极座的间距为220~240mm。
5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的电极棒分布结构，其特征在于：所述进气口位于正多边形的中心。
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