[实用新型]双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备

说明书

技术领域   

本实用新型涉及一种柔性基材表面镀制光学材料的设备，特别是一种双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备。

背景技术

近年来，随着市场经济的不断发展，真空镀膜技术和薄膜产业的发展已逐渐走向成熟，社会对功能性薄膜的需求日益增长，并得到广泛应用，像硫化锌薄膜这种重要的光电应用材料的研发和生产更为迫切。硫化锌一直是光电系统中常选的重要材料之一，因其优良的机械特性和良好的光学特性，在许多光电系统中都有应用。真空镀制硫化锌薄膜技术是一项新兴的研究课题，其不仅涉及到物理学、化学、结晶学、表面科学和固体物理学等基础学科，而且和真空、冶金及化工等技术密切相关。

目前，国内真空镀制硫化锌薄膜采用单蒸发坩埚交错布置的传统真空蒸发硫化锌镀膜设备。如图1所示：蒸发正电极1与蒸发负电极3采用紫铜材料制成水冷结构，导电良好，冷却充分；用于盛装镀膜膜料的蒸发舟2采用薄片高温钼材料制成长方槽形蒸发坩埚；蒸发底板4是空心水冷结构，作为安装蒸发装置的载体；蒸发围槽5采用不锈钢加工成空心水冷结构，作为蒸发热量的屏蔽装置，并保护蒸发腔体不受污染；参见图2：镀膜辊7为蒸镀工作辊，大直径、夹层多头螺旋式冷却；收卷辊8为交流变频电机驱动，卷取镀膜基材；放卷辊9采用进口气动摩擦盘制动器，可根据张力需要进行放卷张力调节，适时放卷。

长方槽形的蒸发坩埚2两端装夹固定在蒸发正电极1和蒸发负电极3上，块状硫化锌盛装在蒸发坩埚2长方槽内，当达到设定真空条件时，接通蒸发电源，加热蒸发舟即蒸发坩埚 2，使块状硫化锌迅速蒸发并沉积在包裹镀膜辊7表面的镀膜基材6上。

现有的真空蒸发硫化锌镀膜设备，虽然保证了在镀膜过程中硫化锌的充分蒸发，双排交错布置提高了蒸发量，并且覆盖了整个镀膜幅宽，理论上看起来效果不错。但是，实际上这种单蒸发舟双排交错布置的蒸发结构严重制约了生产效率的提高，蒸发坩埚长方槽内盛装块状硫化锌的量是有限的，它满足不了大规模化生产的需求，只能限于特定镀膜长度条件下使用，而且膜层厚度有限，镀膜速度很难提高。最难克服的是因为蒸发舟的交错布置，重叠蒸发干扰较多，使得蒸发舟重叠部分的蒸发量远远大于未重叠部分，无法调节和控制，产生了镀膜不均匀、膜层结合不牢固、光学性能不稳定等致命的质量缺陷。这样，也大大制约了镀膜速度的提高，严重影响产品的生产效率和经济效益。这种技术上的薄弱和不足，使得真空卷绕镀膜设备在硫化锌镀膜这一特定领域的推广应用受阻，尤其是对硫化锌介质薄膜在光学防伪这一新兴产业的发展影响最为严重。这引起了真空镀膜行业同仁的关注和重视。

改进和创新真空卷绕镀膜的蒸发技术，提高真空蒸发硫化锌卷绕镀膜设备的应用质量是目前包装镀膜行业的迫切需要，也是包括我公司在内的真空设备制造厂家为打破国际技术垄断、提高国产设备真正意义上竞争力的责任。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于提供一种镀膜均匀、膜层结合牢固、光学性能稳定的双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备。

本实用新型解决上述术问题采取的技术方案如下：

一种双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备，包括蒸发正电极、蒸发负电极、蒸发底板、蒸发围槽与两排蒸发舟，其特征在于：每个蒸发舟是折回式条带状蒸发舟，折回式条带状蒸发舟的前、后端设有向上翻折，每排蒸发舟无间隔排列成长通槽结构，折回式条带状蒸发舟条带两端与蒸发正电极、蒸发负电极分别连接，蒸发负电极位于两排蒸发舟之间，前排蒸发舟的前面与后排蒸发舟的后面分别排列安装蒸发正电极。

在卷绕传动系统辊系的放卷辊与镀膜辊之间，安装有冷却镀膜副辊，冷却镀膜副辊和镀膜辊之间设有间距，包覆在冷却镀膜副辊和镀膜辊的镀膜基材与蒸发舟相平行；使镀膜基材在经过蒸发舟时平展悬浮而过，增大镀膜基材接受沉积面积；蒸发舟上方装有蒸发气体均匀分配罩，用于均匀量化蒸发膜材，并使膜料蒸发具有一定的方向性。

与现有技术相比，本实用新型的蒸发底板与蒸发围槽等结构不变，折回式条带状蒸发舟实现提高加热功率的目的，加速硫化锌镀膜膜料的蒸发速度，保证膜层结合牢固；折回式条带状蒸发舟前、后端设有的向上翻折，使蒸发舟成槽状，将放置盛装在蒸发舟上面的硫化锌镀膜膜料限定，每排蒸发舟无间隔排列成长通槽结构，在整个镀膜幅宽方向形成一个全幅宽长度的加热带长通槽，保证镀膜均匀。

本实用新型蒸发舟布局结构设计，镀膜速度成倍提高、硫化锌沉积均匀、膜层附着力增强、光学检测性能优良，满足了镀膜速度和镀膜厚度的要求，也保证了镀膜质量高标准要求。