[实用新型]用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置。

背景技术

太阳能铸锭坩埚装料前需喷涂氮化硅以隔离石英坩埚与硅液。在喷涂过程中需加热石英坩埚，使氮化硅液均匀的吸附在坩埚表面，形成粉状涂层。现有的坩埚加热旋转台的每块侧板都是由两块不锈钢板构成，两块不锈钢板把加热板夹在中间。加热板的结构是：用石棉包裹着加热元件如加热丝，加热丝两侧再由钢板压紧，整个结构没有弹性。现有的侧板的问题是：因为坩埚的形状不规则，加热板没有弹性，导致各个加热板接触紧固程度不一样，缝隙过大的部位温度就低，容易造成局部温度过低，不利于喷涂质量的提高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，克服现有设备加热不均匀的问题，改善喷涂质量。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，在侧板上装有若干弹簧，弹簧上再装加热板，加热板为柔性加热板。

柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。

载体为不锈钢板，护板为铝板，加热元件为镍铬丝加热元件。

在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。

本实用新型的有益效果是：该侧板能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度，提高喷涂质量，减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现，提高多晶硅锭的收益率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；

图1是本实用新型的侧板的结构示意图；

图2是本实用新型的加热板的结构示意图；

图中，2.加热板，3.侧板，5.弹簧，6.不锈钢板，7.硅胶发泡板，8.镍铬丝加热元件，9.导热硅胶布，10.铝板，11.导热硅胶板。

具体实施方式

如图1所示，一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，在侧板3上装有若干弹簧5，弹簧5上再装加热板2，加热板2为柔性加热板。

如图2所示，柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧不锈钢板6做载体，然后依次是弹性很强的硅胶发泡板7，既可以增加加热板的弹性，又可以把热量阻隔在侧板3的内侧；硅胶发泡板7后是镍铬丝加热元件8；镍铬丝加热元件8后是导热硅胶布9，导热硅胶布9主要是用来作绝缘用的；再之后加入一层铝板10来保护加热板2的内侧；最内侧是导热硅胶板11，直接接触坩埚，保护坩埚不被刮坏。铝板10与不锈钢板7会影响加热板的弹性，所以在铝板10和不锈钢板7上切割间距1mm厚的缝。